AIGX离子真空计
AIGX离子真空计
Edwards AIGX紧凑型离子真空计配备两根氧化钇覆膜的铱灯丝，测量范围极广，从 6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar（5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr），并且提供 1 V/decade 线性输出。Edwards 的新型 AIGX 真空计具备行业标准的有源压力测量概念的大部分优势，同时集成了电子器件和可更换的管件。
AIGX离子真空计拥有脱气装置，而且具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。得益于很低的带电微粒辐射，AIGX 成为不能有背景噪声的制程优秀的选择。
特点
宽范围测量功能，可达 6.6 x 10-10 mbar (5 x 10-10 Torr)。
有两种款型可用，每一种又有三种真空联轴器变型：
“D”型具有 9 针“D”接头盒标准接口；
“S”型具有增强的功能，与 Edwards 的各种控制器兼容。
与主要竞争对手相比，带电粒子制程污染减少了 30%。
自动防止在大气条件下启动灯丝以及在高压下运行或脱气。
在整个测量范围内真空计灵敏度始终保持稳定，从而可以在更高压力下保持输出精度。
在脱气过程中可以连续进行压力测量输出。
创新性设计消除了 X 射线限制的影响。
双色 LED 提供真空计状态的本地指示。
输入电压范围宽。
电子器件极易拆卸以进行高达 200 °C 的加热。
“S”型提供有无缝的自动发射电流切换，延长了灯丝寿命。
“S”型提供有诊断输出，指示“发射关闭”、“灯丝烧坏”和“过压跳闸”，以帮助进行故障排除。
“S”型提供有一个可以用按钮调整的设定点。
应用
对半导体过程和传输腔室的压力测量
Edwards AIGX紧凑型离子真空计配备两根氧化钇覆膜的铱灯丝，测量范围极广，从 6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar（5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr），并且提供 1 V/decade 线性输出。Edwards 的新型 AIGX 真空计具备行业标准的有源压力测量概念的大部分优势，同时集成了电子器件和可更换的管件。该真空计拥有脱气装置，而且具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。得益于非常低的带电微粒辐射，AIGX 成为不能有背景噪声的制程优秀的选择。
技术规格
压力范围 | 6.6 x 10-2 至 6.6 x 10-10 mbar |
（5 x 10-2 至 5 x 10-10 Torr） | |
电源供给 | +14.5 至 +30.0 V 直流 |
功耗 | 正常工作：7W， |
脱气：14W | |
输出信号 | 线性，1 V / decade |
响应时间 | 1.33 x 10-8 mbar |
(>10-8 Torr) ˜ 100 ms | |
1.33 x 10-8 mbar | |
(<10-8 Torr) ˜ 1-2 s | |
较大电压 | 30 V（直流） |
较大电流 | 100 mA |
工作环境 | 干燥的非导电性大气 |
温度范围 | |
工作温度 | 0 至 +40 °C |
存储温度 | -30 至 +70 °C |