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AIGX离子真空计

Edwards  AIGX紧凑型离子真空计配备两根氧化钇覆膜的铱灯丝,测量范围极广,从 6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar(5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr),并且提供 1 V/decade 线性输出。Edwards 的新型 AIGX 真空计具备行业标准的有源压力测量概念的所有优势,同时集成了电子器件和可更换的管件。

AIGX离子真空计拥有脱气装置,而且具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。得益于极低的带电微粒辐射,AIGX 成为不能有背景噪声的制程明智的选择。

特点

宽范围测量功能,可达 6.6 x 10-10 mbar (5 x 10-10 Torr)。

有两种款型可用,每一种又有三种真空联轴器变型:

“D”型具有 9 针“D”接头盒标准接口;

“S”型具有增强的功能,与 Edwards 的各种控制器兼容。

与主要竞争对手相比,带电粒子制程污染减少了 30%。

自动防止在大气条件下启动灯丝以及在高压下运行或脱气。

在整个测量范围内真空计灵敏度始终保持稳定,从而可以在更高压力下保持输出精度。

在脱气过程中可以连续进行压力测量输出。

创新性设计消除了 X 射线限制的影响。

双色 LED 提供真空计状态的本地指示。

输入电压范围宽。

电子器件极易拆卸以进行最高达 200 °C 的加热。

“S”型提供有无缝的自动发射电流切换,延长了灯丝寿命。

“S”型提供有诊断输出,指示“发射关闭”、“灯丝烧坏”和“过压跳闸”,以帮助进行故障排除。

“S”型提供有一个可以用按钮调整的设定点。

应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量

Edwards  AIGX紧凑型离子真空计配备两根氧化钇覆膜的铱灯丝,测量范围极广,从 6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar(5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr),并且提供 1 V/decade 线性输出。Edwards 的新型 AIGX 真空计具备行业标准的有源压力测量概念的所有优势,同时集成了电子器件和可更换的管件。该真空计拥有脱气装置,而且具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。得益于极低的带电微粒辐射,AIGX 成为不能有背景噪声的制程优秀的选择。

技术规格

压力范围

6.6 x 10-2 至 6.6 x 10-10 mbar


(5 x 10-2 至 5 x 10-10 Torr)

电源供给

+14.5 至 +30.0 V 直流

功耗

正常工作:7W(最大),


脱气:14W(最大)

输出信号

线性,1 V / decade

响应时间

1.33 x 10-8 mbar


(>10-8 Torr) ˜ 100 ms


1.33 x 10-8 mbar


(<10-8 Torr) ˜ 1-2 s

最大电压

30 V(直流)

最大电流

100 mA(最大)

工作环境

干燥的非导电性大气

温度范围


工作温度

0 至 +40 °C

存储温度

-30 至 +70 °C

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