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MG15真空计控制器

MG15能够支持4个Active真空计和3个Passive真空规管,将测量范围扩展到2x10-12mbar。MG15可以完全由软件控制,通过一个可用的接口进行远程控制。MG15还支持离子电流(Flux Monitor)的测量及显示,单位是[nA],相关的所有设定值和模拟输出也会同步为[nA]单位。

特点

测量范围从大气压到2x 10-12毫巴

压力图

压力趋势图

测量滤波(low, med, hi)

控制几乎所有商用的Bayard-Alpert离子计

有时间和功率限制的Bayard-Alpert脱气

支持Ir/ W /Thoria灯丝

Bayard-Alpert超压保护

可选择的测量单位:mbar, Torr, Pascal, Psia

气体特定修正与一个定制设置

单元超温保护

10个单独可编程的设定点,设定阈值和滞后功能

用户定义的通道名称

主动测量真空计的自我识别

显示离子束流

应用

任何高真空和超高真空系统

极限压力测量(从大气到超高压范围)

可烘烤和不可烘烤系统

MBE离子束流规控制

技术规格

测量通道

7通道(Active真空计:4个; Passive真空规:3个-订购时定义的数量)

显示范围

2 x 10-12 mbar 至2 x 10+5 mbar

测量范围
Active真空计
Passive真空规
*与连接量规有关

5 x 10-10 mbar

2 x 10-12 mbar

其他测量*
(Flux Monitor)

离子束流(束流规应用)

发射电流

0.05mA至10mA

设定点(每个通道的单独编程)

10个(4个NC/NO;6个NO)

支持的Active真空计

Inficon,Leybold,Pfeiffer,MKS,ATMION真空计等

支持的Passive真空计

IE414, IE514, UHV-24, UHV-24p, GP274系列, SRS,ETI等

继电器输出带有配置激活信号

4个(发射电流,除气)

数字输入

4

模拟输出

4(0-10V)

通讯协议

Modbus

通讯接口

RS232/485/422, Ethernet,Profinet-可选(订购时注明)

用户界面

7寸TFT显示及触摸控制

电源

100-240VAC,50/60Hz,max 200W

尺寸

212.6*128.4*260.3 mm

重量

3.8Kg

*允许显示无源仪表的离子电流,而不是真空测量。电流用[nA]表示,相关的所有设定值和模拟输出也用[nA]表示。

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