MG15真空计控制器
MG15真空计控制器
MG15能够支持4个Active真空计和3个Passive真空规管,将测量范围扩展到2x10-12mbar。MG15可以完全由软件控制,通过一个可用的接口进行远程控制。MG15还支持离子电流(Flux Monitor)的测量及显示,单位是[nA],相关的所有设定值和模拟输出也会同步为[nA]单位。
特点
测量范围从大气压到2x 10-12毫巴
压力图
压力趋势图
测量滤波(low, med, hi)
控制几乎所有商用的Bayard-Alpert离子计
有时间和功率限制的Bayard-Alpert脱气
支持Ir/ W /Thoria灯丝
Bayard-Alpert超压保护
可选择的测量单位:mbar, Torr, Pascal, Psia
气体特定修正与一个定制设置
单元超温保护
10个单独可编程的设定点,设定阈值和滞后功能
用户定义的通道名称
主动测量真空计的自我识别
显示离子束流
应用
任何高真空和超高真空系统
极限压力测量(从大气到超高压范围)
可烘烤和不可烘烤系统
MBE离子束流规控制
技术规格
测量通道 | 7通道(Active真空计:4个; Passive真空规:3个-订购时定义的数量) |
显示范围 | 2 x 10-12 mbar 至2 x 10+5 mbar |
测量范围 Active真空计 Passive真空规 *与连接量规有关 | 5 x 10-10 mbar 2 x 10-12 mbar |
其他测量* (Flux Monitor) | 离子束流(束流规应用) |
发射电流 | 0.05mA至10mA |
设定点(每个通道的单独编程) | 10个(4个NC/NO;6个NO) |
支持的Active真空计 | Inficon,Leybold,Pfeiffer,MKS,ATMION真空计等 |
支持的Passive真空计 | IE414, IE514, UHV-24, UHV-24p, GP274系列, SRS,ETI等 |
继电器输出带有配置激活信号 | 4个(发射电流,除气) |
数字输入 | 4 |
模拟输出 | 4(0-10V) |
通讯协议 | Modbus |
通讯接口 | RS232/485/422, Ethernet,Profinet-可选(订购时注明) |
用户界面 | 7寸TFT显示及触摸控制 |
电源 | 100-240VAC,50/60Hz,max 200W |
尺寸 | 212.6*128.4*260.3 mm |
重量 | 3.8Kg |
*允许显示无源仪表的离子电流,而不是真空测量。电流用[nA]表示,相关的所有设定值和模拟输出也用[nA]表示。