在真空技术中，材料的要求各不相同。根据应用、环境条件以及要实现的真空度，必须对材料进行测试以满足相关的要求。

1.在整个操作温度范围内要保证足够的机械强度

除了要保证其结构的完整性，还必须确保功能表面的变形，不会对其功能特性造成影响。示例：真空室部件上的大气压力大约为10N/cm2。在面积为1m2的表面上，将产生100,000N的压力。

2.高气密性

每种材料基本上都是气体可渗透的。气体渗透的整个过程被称为渗透。渗透的快慢取决于材料、气体类型以及环境条件—特别是温度。使用弹性体密封件的情况下，其渗透性必须予以考虑。示例：对于DN500ISO-K的FKM（氟橡胶）密封件，在湿度为60%的空气中，渗透率大约为4·10-7Pa·m3/s.。因此，带有FKM密封件的真空系统工作压力很少会超过1·10-8hPa。

3.低固有蒸气压、高熔沸点  

固有蒸气压太高会限制真空压力。除了油和润滑脂的真空兼容性，在合金中，必须考虑金属固有的蒸气压或其在合金中的分压。示例：对于黄铜制品，锌在高真空中的分压被限制在允许温度大约为100°C。

4.清洁表面、低杂质气体含量、易脱气

清洁表面是先决条件。但是，任何暴露于环境空气中的表面都会覆盖上一层吸附层。以化学或物理形式将分子吸附在材料表面或材料间隙内的气体分子，一旦解吸（当在它们从表面分离时）也是气体来源的一部分。要实现高的极限压力，必须使用具有低解吸率的材料。示例：单层吸附气体约等于4·10-2Pa·m3/m2.的气量。设想一根直径为50cm，长度为100cm的管子，两端封闭（表面积大约为2m2,体积大约为200l），单层释放导致压力上升大约0.4Paor4·10-3hPa。这并没有考虑管道的表面积总是大于其几何面积这一实际情况。

5.抗热冲击性能好、膨胀率适应性好

示例：不同热膨胀将铝密封件与不锈钢法兰组合的允许温度限制在150°C左右。经常在过高温度之后，在冷却过程中发生密封效果恶化的情况。

6.耐腐蚀性、耐化学性

示例：很多真空镀膜过程需要化学性质活泼的过程气体。因此，有必要考虑所使用的液体是否会影响到部件或密封件。尤其是薄壁部件，如金属波纹管，容易受到腐蚀。如有必要，应该在测试中确定其使用寿命。

对于特殊的应用，可能可能还会对材料有更多要求。

一般的规则是：所需工作压力越低，对材料的要求越高，可使用的材料选择性越小。因此，特别在UHV（超高真空）技术中，材料的选择非常重要。