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冷阴极皮拉尼复合真空计

INFICON反磁控管皮拉尼复合真空计,MPG400 和 MPG401,测量范围为 5 x 10-9 mbar 至大气压力(3.8 x 10-9 Torr 至大气压力)。将多项技术融入带有一个对数模拟输出信号的单个紧凑型装置中,显著降低了安装、设置和集成的复杂性。

特点

复合真空计 – 冷阴极和皮拉尼

5 X 10-9 mbar 至大气压的极宽测量范围

倒磁控管没有灯丝,不会出现丝极烧毁的现象

卓越的点火属性

易清洗

FPM 或金属密封馈入装置

LED 指示器,高压时亮起

对数模拟输出信号

应用

高真空压力测量

蒸发与溅射镀膜系统

全真空范围内的一般真空测量和控制

技术规格

型号
密封
MPG400
FPM密封
MPG401
金属密封
测量范围
5 × 10E-9至1000 mabr
精度(N2) 10E-8至100 mbar

≈±30%读数
重复性
≈±5%读数
输出信号(电压)

0至+10.5V

电源电压
功率
+15至+30Vdc
≤2 W
电气连接件

FCC 68/RJ45网口,8脚屏蔽
工作温度
+5至+55℃
安装方位任何
防护等级IP40

订购资料

型号
密封
MPG400
FPM密封
MPG401
金属密封
KF25351-010351-020
KF40351-011351-021
CF40351-012351-022
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