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356 Micro-Ion Plus

Granville-Phillips 356 Micro-lon Plus真空规模块合并了新的微型Conductron热损失传感器和经验证的Micro-lon规管技术于个真空封套中,从而扩展了从高真空到大气压的压力测量。

两个号感器合并在一个真空封套中节省了空间。真空系统控制通过使用热损失传感器来激活和关闭电离规而得到简化。方便的按钮控制可以进行模块操作机两个触点继电器的设定,无需通过电气控制或计算机接口来实现。两种型式的模块可供选择——带模拟量输出的RS-485接口或DeviceNet接口。

特点

从高真空到大气压的扩展测量范围

两个传感器在一个节省空间的设计中

电离规双灯丝结构可延长设备正常运行时间

电离规自动点亮和关闭

带有按钮可供手动操作及调校

两个触点继电器用于安全互锁控制

复合规管技术

要在一个跨度较宽的高真空系统中实现全压力范围的测量需要多个传感器技术。以往这需要多个规管,多个真空连接口,以及多套电缆和电气控制组件来实现。因此复合多传感器技术于一个微型规管中有很大益处,只要传感器之间互不干扰以及测量特性互不损坏。这些都由Micro-lon Plus设计实现了。它保留了Granville-Phillips Micro-lon规管设计的高性能同时配合新的微型热损失传感器封装在电离规管中。新获专利的Conductron热损失传感器是基于工业标准的Conductron规管20多年的市场经验的理解和领悟而获得的。

宽量程、高性能和紧凑尺寸使得Micro-Ion Plus模块成为高真空系统压力测量的明智选择。


Micro-lon Plus真空计特性及优势

宽量程:可以买现从1×10-9Torr(1×10mbar,1x 10-Pa)到大气压的连续真空系统特性监控。热量更少些。

简化的模块设计:电子器件和传感器打包在一起组成一个紧凑、简便的安装模块,避免了多个规管、电缆和电子器件的需要。

控制系统简化:内部集成的热损失传感器可以自动控制激活和关断电离规,避免了额外的电离规控制需要。

RS-485、模拟量输出及远程I/O除了RS-485通讯和模拟量输出外,模块还提供规管开/关,除气、大气校准,及锁键盘的输入控制连同规管、灯丝和除气的状态输出。

工艺设定点:继电器触点可以用来控制其他真空设备和提供安全互锁。设定值可以通过本地显示界、RS-485或DeviceNet接口进行调整

本地显示(选项)可以指示当前点压力值并能本地进行工艺设定点调整的绿色LED显示和按钮改善了建立时间和诊断能力。

DeviceNet接口型:提供压力测量的高速读取并实现规管参数的简单配置。

DeviceNet网络供电弹性化:规管供电既可以通过DeviceNet的微型接口实现也可以通过单独的连接实现。

CE认证:全金属封装具有高水隹的抗射频干扰能力。

世界上较小的复合规:Micro-lon Plus复合了新的微型Conductron热损失传感器和一个Micro-Ion传感器在一个真空规管中,其体积不足传统电离规的10%

高性能:完整的Micro-Ion设计保留有获专利的双离子收集极从而增加了电子路径和离子收集效率,在小容积内提供高性能。

双电离规灯丝:两根耐烧断的镀氧化钇的铱丝实现了更长的规管寿命。利用第二根灯丝做备份可使规管工作到正常的维护周期再更换,避免了意外停机

工作温度更低:Micro-Ion规管只有传统玻璃管规或裸规功耗的8%,这就使得它产生的干扰工艺或试验的热量更少些。

稳固的全金属设计:焊接元件、真空烧结及装配均在洁净环境下完成,最后将各元件封装在不锈钢外壳中以确保传感器的集成。

接口筛网:保护装配及真空系统维护中电极组件不受损坏,提供稳定的电气环境改善测量性能。

真空接口的多种选择:简化了规管在真空系统中的安装。

更换规管:仅仅使用螺丝刀就可以快速便捷地更换规管

技术规格

技术规格

空气与N2的测量范围
(见注释1、2、3)

Torr

1X10-9至大气压

mbar

1X10-9至大气压

Pa

1X10-7至大气压
测量N2精度(见注释4)
±15%读数,从1X10-8至50Torr
重复性(见注释5)
±5%读数,从1X10-8至50Torr
发射电流
自动切换
自动切换(默认值)
(见注释6)
电离规自动启动
2X10-2Torr, 3X10-2mbar,3Pa,随压力下降
切换到高发射状态4mA
5X10-6Torr, 7X10-6mbar,7X10-4Pa,随压力下降
切换到低发射状态0.1mA
1X10-5Torr, 1X10-5mbar,1X10-3Pa,随压力上升
电离规自动关闭
3X10-2Torr, 4X10-2mbar,4Pa,随压力上升
除气
电子轰击,3.75W 2分钟累时器

灯丝选择

交替(默认)(见注释7)
工作温度
0-40℃,不结露

非工作温度

-40-70℃

供电要求

24VDC ±15%,最大26W

外壳材料

铸铝
CE认证

EMC电磁兼容指令

89/336/EEC;EN 50081-2,EN 50082-2

低压指令

73/23/EEC;EN 61010-1

重量

567gm (带KF16法兰)

显示选项

2位数显加指数显示,绿色LED

设定点触点

两个单刀双掷(SPDT)

触点额定值

1A 30VDC阻抗,无感

范围

1X10-9至50Torr,1X10-9至70mbar, 1X10-7Pa至7Kpa
规管烘烤温度
150℃(电子器件移除)

内部容积

10.8 cm 3(0.67 inch 3)至筛网口的容积
Micro-lon Plus规管

X射线极限

<3X10-10Torr; <4X10-10mbar; <4X10-8Pa(见注释8)

电离规材质

铱丝镀氧化钇

热损失传感器材质

钨丝镀金

其它暴露于其他的材质

304不锈钢,钽,钨,镍

贴镍合金,硼硅酸盐玻璃

1.测量结果会随不同气体和混合情况而改变。

2.Micro-lon Plus规管不能用于易燃易爆气体测量。

3.大气压的读值基于使用时的校准值。

4.精度(规管读数和校验参考标准之间的差异)是通过数据统计确定的井且包括了规管和电子器件的综合性能。

5.重复性是指同一模块在不同时间读取相同压力值的能力。

6.高发射和低发射模式的默认切换点可以通过数字接口进行调整。

7.模块将随着电离规的每次开启交替点亮两根灯丝,除非您通过数字接口将模式选成自动(AUTO)。在自动模式下,灯丝1会用到失效。任何一个灯丝失效,模块都会自动切换到好的那根灯丝工作。

8.X射线极限是规管的最小绝压读值。在X射线极限附近不可能进行重复测量。

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