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质量流量计

TSM-D200系列数字式气体质量流量计,满足从5mL/min~5000L/min的宽范围气体量程监测,同时支持传统模拟量和RS485数字信号,满足大部分气体控制的通用需求,气体通路为不锈钢材质,适用于所有气体或高压环境。

特点

实时确认流量和动作状态

响应速度快、精度高

对外部环境变化的稳定性强

可选本体显示模块和累计流量、及外部PID指令

技术规格

型号TSM-D210TSM-D220
TSM-D230
TSM-D240
TSM-D245
TSM-D250
TSM-D260
流量范围(N2基准)5sccm ~ 1.5slm1.5slm~30slm30slm~100slm
100slm~400slm
400slm~1000slm
1000slm~2000slm2000slm~5000slm
流量测量范围
2 ~ 100%满量程
精度≤±1%满量程≤±2%满量程
≤±3%满量程
响应速度≤1秒≤2秒
重复性
≤0.2%满量程≤0.5%满量程
密封种类Vtion,Vtion-ETP,Kalrez等等
电气连接及信号9针D-Sub公头
模拟:0-5VDC或4-20mA
数字:RS485
电源+15VDC~+24VDC
操作温度操作温度:5-50℃(推荐15~35℃)
预热时间15分钟(准确度保证:30分钟)
法兰连接1/8"~1"LOK或VCR(根据型号)25A或40A
重量0.73Kg0.75Kg1Kg1.71Kg4.5Kg5.6Kg16.9Kg

产品尺寸


质量流量控制器订购参数确认单

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