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皮拉尼/BA/电容膜片-复合真空计

INFICON Bayard-Alpert Pirani 电容式隔膜真空计 Triple-Gauge BCG450 将三大不同技术的优势融合在一个体积小、价格低的规管中,可以测量从 5×10-10 至 1500 mbar(3.75×10-10 至 1125 Torr)的过程压力和基本压力。BCG450 的设计旨在替代三个传感器(热电离、加强对流 Prani 和真空开关),因而节省了成本和宝贵的工具空间。

特点

BCG450 可节省成本和工具空间,降低真空测量仪器的安装与设置的复杂性

压力超过 10 Torr 时压力测量不受气体类型限制,可以为任何气体混合物提供更为可靠的预抽真空室控制

皮拉尼联锁保护丝极,防止过早烧毁

高真空皮拉尼自动调节,减少操作员的干预

大气气压下压差测量消除了大气压力变化引起的不确定性

传感元件带有板载校准数据,易于更换,可保证再现性

备有可选的图形显示器和现场总线接口

符合 RoHS 标准

应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量

工业镀膜

低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

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