JEOL电子枪/电源介绍
JEOL电子枪/电源介绍
电子枪/电源的构成
电子枪动作原理
电子枪是加速电子轰击靶屏发光的一种装置，它发射出具有一定能量、一定束流以及速度和角度的电子束。(该电子束的方向和强度可以控制，通常由热阴极、控制电极和若干加速阳极等组成)电子枪用来提供电子束，并轰击荧光屏形成不同灰度等级的图像。
灯丝在通电流后会加热，产生热电子。
这些热电子在加速电压作用下加速。（在灯丝—阳极间）加速脱离灯丝的热电子在偏向磁场（永久磁场or电磁铁）作用下进行偏转、对坩埚内的蒸镀材料进行照射。
电子枪构造
电子束转向方法=利用磁场 电子束扫描方法=利用磁场
JEOL电子枪·电源的特长
能量分布均匀的圆型电子束光斑
电子束的垂直入射性出色→适合氧化物·升华物材料
高速扫描→能得到平坦良好的熔迹
低真空动作安定→电子枪的构造能实现在低真空的动作安定
优异的放电抑制电子回路能帮助实现安定的蒸镀
电子枪灯丝
涡旋形灯丝
因为灯丝上流有负的高压电、再加上电场的关系，呈正极的离子会通过阳极中央对灯丝的中央附近进行攻击。这些冲击会造成灯丝断线。
长寿命灯丝
这种灯丝、为了避免离子的攻击，呈U字形的形状。离子会被中央部的辅助电极所吸引。
EB电源的各机能
操作盘
操作盘的外部制御（信号输入和输出）
如何稳定使用电子枪
不稳定的主要原因
1、压力上升
①蒸镀材料的放出气体
②排气能力的低下
③构造物中的滞留气体的大量放出
④真空装置内部的污染
2、绝缘距离低下（高电压部）
①高电压部绝缘陶瓷的污染 ②突出物（蒸镀垃圾等）
电子枪磁场环境的注意点
不要把高磁场导率物质或磁性物放在电子枪周围，有可能影响电子枪的性能
使用电子束对高磁导率蒸镀材料进行照射的时候，随温度的变化电子束位置也会发生变化
来源：镀膜行业交流