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JEOL电子枪/电源介绍

电子枪/电源的构成


电子枪动作原理

电子枪是加速电子轰击靶屏发光的一种装置,它发射出具有一定能量、一定束流以及速度和角度的电子束。(该电子束的方向和强度可以控制,通常由热阴极、控制电极和若干加速阳极等组成)电子枪用来提供电子束,并轰击荧光屏形成不同灰度等级的图像。

灯丝在通电流后会加热,产生热电子。

这些热电子在加速电压作用下加速。(在灯丝—阳极间)加速脱离灯丝的热电子在偏向磁场(永久磁场or电磁铁)作用下进行偏转、对坩埚内的蒸镀材料进行照射。


电子枪构造

 

电子束转向方法=利用磁场    电子束扫描方法=利用磁场



JEOL电子枪·电源的特长

能量分布均匀的圆型电子束光斑

电子束的垂直入射性出色→最适合氧化物·升华物材料

高速扫描→能得到平坦良好的熔迹

低真空动作安定→电子枪的构造能实现在低真空的动作安定

优异的放电抑制电子回路能帮助实现安定的蒸镀

电子枪灯丝

涡旋形灯丝

因为灯丝上流有负的高压电、再加上电场的关系,呈正极的离子会通过阳极中央对灯丝的中央附近进行攻击。这些冲击会造成灯丝断线。

长寿命灯丝

这种灯丝、为了避免离子的攻击,呈U字形的形状。离子会被中央部的辅助电极所吸引。

EB电源的各机能


操作盘

操作盘的外部制御(信号输入和输出)


如何稳定使用电子枪

不稳定的主要原因

1、压力上升

①蒸镀材料的放出气体

②排气能力的低下

③构造物中的滞留气体的大量放出

④真空装置内部的污染

2、绝缘距离低下(高电压部)

①高电压部绝缘陶瓷的污染      ②突出物(蒸镀垃圾等)


电子枪磁场环境的注意点

不要把高磁场导率物质或磁性物放在电子枪周围,有可能影响电子枪的性能

使用电子束对高磁导率蒸镀材料进行照射的时候,随温度的变化电子束位置也会发生变化



                                                                                                                                                                                                                                                                                         






来源:镀膜行业交流

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