半导体质量流量控制器
半导体质量流量控制器
MARU9000系列是适用最佳全新技术扣押刑MFC. MARU9000系列线性度良好, 精确度控制在设定值±0.5%范围以内，采用实际气体和变化率验证方法以及前端压力和温度补偿算法. 后段阀和前段阀累型全部提供在多种方面来选着使用。
特点
压力式 MFC
超快速响应时间: ≤0.5ec
最高精度: ≤ 0.5% of S.P
耐腐蚀性强: 电抛光<0.1um RA
高流量稳定性: 强大的PI功能(10psi)
支持MGMR功能
通讯: D-NET / EtherCAT / RS485 / Analog V&A
技术规格
| 型号 | Maru 9000 | ||||
| 流量范围（N2等效） | 5SCCM~1SLM | ||||
| 流量控制范围 | 0.5~100% of F.S | ||||
| 精确度 | ≤±0.05%读数（0.5~10%量程） ≤±0.5%满量程（10~100%量程） | ||||
| 响应时间 | ≤0.5秒（≤SEMI标准） | ||||
| 重复时间 | ≤±0.3%满量程 | ||||
| 阀门关闭时的内部泄漏 | ≤0.01% of F.S | ||||
| 零点稳定性 | ＜±0.15%满量程/年 | ||||
| 温度系数 | 0.01%满量程/℃ | ||||
| 表面润湿材料 | STS316L VIM VAR & Electro-Polished(<0.1um RA) & Option :HASTELLOY | ||||
| 阀座 | METAL / PTFE | ||||
| 密封件类型 | METAL | ||||
| 泄漏完整性 | ≤5X10-12Paㆍm3/S(He) | ||||
| 工作温度范围 | 5~50˚C (Recommended : 15~35˚C) | ||||
| 预热时间 | 30min (Accuracy Guaranteed :60min) | ||||
| 压力不敏感 | ≤±2%of F.S Up/down to 10psi(69kPa)/sec | ||||
| 工作压差 | ≥110kPa(D) | ||||
| 通讯 | D-Net | ||||
| 电源/功耗 | Solenoid : +15~24VDC, 7.2W max or Piezo : +15~24VDC, 3.6W max | ||||
| 阀门类型 | Normally ClosedSolenoid or Piezo | ||||
质量流量控制器订购参数确认单