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307 Bayard-Alpert真空计控制器

Bayard-Alpert离子计

Convectron 真空规

TC真空规

Granville-Phillips 307系列真空计控制器(VGC)可测量压力,并充分利用压力相关输出来控制一系列真空系统功能和工艺。为了适应各种不同的需求和应用场合,307控制器提供了不同的配置和价格。对于最简单的配置,307控制器仅运行一个电离规(IG)测量从1×10 -10到1×10-1Torr压力范围。利用选项模块,307控制器可控制四个规管,测量范围从2×10-11Torr至大气的压力,并有六个过程控制设定点可用。

特点

能够测量系统或工艺中多达四个位置处的压力。

保守设计提升了可靠性,并有质保体系做后盾。

节约空间的组件设计仅占有常规机架宽度的一半。

独一无二的改进设计可带来以下益处

通过使用两个相继工作的电离规和或者两个Convectron规或两个热偶规,或使用二个Convectron规加一个电容薄膜规,可以测量系统或工艺中多达四个位置处的压力。

极其出色的系统控制:提供多达六个过程控制设置点,并可以在预先选择的压力下自动或手动启用。

增强的可靠性:采取保守设计,明显降低组件故障的可能性。独立电源可远程布置显著降低操作温度。目前,这款久经验证的设计由Brooks质保体系提供支持。

更强大的安全性:控制单元仅使用低压电路,显著降低触电危险。

明显改进的经济性:模块化设计支持用户仅购买所需功能,并在将来轻松升级。

节约面板空间:307控制单元仅占用常规机架宽度的一半,由于无通风,因此可以更高效地利用控制单元的上下空间优势。


更精确的压力测量

显著提高的压力测量准确度通过控制发射电流,保持i=温度稳定,从而使散热及其影响,放气作用和壁电都保持稳定,否则这些因素将明显影响压力的读数。

为了扩展的压力范围测量能力和/或延长规管寿命,您可以调整发射电流。

电磁场辐射抗干扰度

控制单元和电源之间以及与规管的连接均使优质的屏蔽电缆。

为了有助于防止电气干扰,重要连接处采用RF过滤器。

通过移除控制单元附近的电源,使仪器机箱内的温度上升速度减缓,从而减少电路漂移并提高压力涙量的准确度。

使用Convectron规进行的压力测量在大多数情况下不受温度变化的影响。温度补偿设备将监控传感丝周围的气体温度,而不是监控远离的外壁温度。

每个Granville-Phillps Convectron规管在发货之前,均会分别经过校准,大部分测量范围内的读数误差控制在±2%以内。

要提高压力测量的准确度,可以按规管校准特性简单调整灵敏度,与发射电流无关。

研究数据表明,B-A规的不准确率为30%至40%,尽管307真空规控制器能够非常精准地测量离子流,但上述不准确率是B-A型电离规所固有的缺陷,任何电离规控制器均无法持续加以弥补。


明显改进的经济性

轻松的自定义一旨在允许您仅购买当前应用所需的模块。

轻松的现场升级支持您以合理的成本获得更多高级复杂功能。

小尺寸(仅占机架宽度的一半)可节约宝贵的面板空间。

低功耗的控制单元允许安装其他仪器,因此无需额外留出通风空间。

最大程度地缩短停机时间:

借助故障指示灯的帮助查找故障电路。

由于毎个主板均主要包含与其功能相关的电路,因此有助于您轻松安排库存。

可轻松更换的模块支持快速进行现场修复。


出色的控制

使用多达六个设定点增强过程继电器,电离规有两个,两个Convectron或热偶规各两个。

可用的Convectron或热偶规功能支持在预先选择压力的设定下自动点亮电离规。

设定点可手动干预设置便于系统建立和维护。

用户可选择设置点的极性,以便继电器能在压力高于或低于既定设置点时激活。

设置点时激活设置点的状态将显示在前面板上可以使用用户自定义的标签加以识别。

Convectron规管通过在真空中分别精细调整归零,其下限为l×10-4Torr,因此它更适用于过程控制如1×10-3Torr范围内的溅射。


增强的可靠性

停电保护:所有设定点都存于非易失性存储器内,因此即更停电或电压不稳,亦可成功保存设定信息。过程控制操作具有可选择的继电器状态,使用户能够定义停电条件。当电源恢复时,如果自动IG的打开/关闭控件正处于使用状态,则IG将返回到“on”的状态。

内置的损坏保护:

保护控制器,免受规管的特殊电路的短路影响。

保护规管,免受过压损坏。

由于构建的等离子区可使控制单元在不受损坏的情况下关闭,因此电弧保护会在除气期间启动。

由于使用远程电源可以显著降低操作温度,因此将明显减少组件出现故障的可能性。

内置的锁定监控器可持址进行径杏,并自动恢复软件相关的故障。


更强大的安全性

灯丝电源关闭时,电离规电极中不存在危险的高压。

远程电源可最大限度地降低触电危险;控制单元内部以低干35伏的直流电(峰值)运行。

采用封闭式线缆连接接头与电离规收集极相连,明显降低接触收集极引线的危险,这一功能十分重要,因为如果接地不正确,收集极会在栅极电压上下浮动。

采用防篡改设计,避免未经授权的操作:

前面板盖可以锁定,有助于保护未经授权擅自篡改子面板控件上已编程的重要数据。

远程I/ O面板支持您使前面板电离规和除气控件无法操作。


便捷的多点测量读数

通过并排安装两个控制单元,可以在一个紧凑的区域内同时显示六组压力读值,每个控制单元均可测量系统中多达四个点的压力。

技术规格

显示屏

类型

数字显示,绿色LED

单位

Torr,mbar和Pa,用户自行选择

更新时间

通常为0.5秒
控制器压力范围

测量下限

1X10-10Torr(发射电流为10mA且规管灵敏度为10/Torr)

测量上限

1X10-1Torr(发射电流为10mA且规管灵敏度为10/Torr)

压力范围

对应于上述给定发射设定和规管灵敏度范围的七个数量级
发射电流
可控制,且可从0.01mA调整至10mA
电离规
模拟输出,对数:1V/数量级,0-10VDC
B-A规和其它兼容热灯丝类型的电离规
灵敏度调整范围
3/Torr至50/Torr
标准电位计
电离规管灵敏度和发射电流可调
线缆
30米至61米(可指定)

控制器尺寸

241mm*89mm*273mm(允许数据线接口深度+5cm)
操作温度
40℃

电源要求

100/115/230 ±10%VAC(由用户选定),250W,50Hz/60Hz
其它可用模块和功能规格

可用的计算机接口

IEEE-488(并行)

RS232/RS485串行
波特率:可选择75(仅限RS232)、150/300/600/1200/2400/3600/4800或9600;19.2K(仅限RS485)
适用于压力数据输出和设定点状态
为IG1、IG2和DEGAS提供远程打开/关闭控件
高性能的超高真空(UHV)电位计
发射电流为10mA时的压力读数下限扩展到2X10-11Torr
提供电子轰击除气电源调整控件
附带单独的灵敏度调整控件和单独发射控件,可分别控制两个电离规
高压操作
在规管测量的整个范国内,读数分辨率高达两位数(10-4Torr除外)
Convectron真空计功能
可运行Granville-Phillips的两个275规管
压力范围1×10-4托至990托
温度
耐烘烤温度高达150°C(非工作状态)
操作温度为4-50℃
规管环境补偿温度范围15-50℃
插口连接方式,便于轻松安装传感器(即便在"盲区"也是如此)
模拟量输出,对数1V/数量级,0-7伏直流电。可将直流电的偏移量调整+1至-7伏

热偶规功能

可运行Granville-Phillips的两个270规管
压力范围1X10-3托至1托
模拟量输出,非线性0-10VDC
注意Convectron和热电偶仪表主板选件均包括电离规的自动打开功能。

电容薄膜规功能

运行一个GP规管和一个电容薄膜规
电容薄膜规的最大范围1-10-100-1,000托
±15VDC 250mA的电源

过程控制

两个通道(仅限电离规)
六个通道(适用于所有规管)
压力相关的继电器(设置点)支持用户选择压力
·继电器配置SPDT(单刀双掷)
继电器触点容量:250V AC电阻负荷为5A时,触点额定值为30VDC; 5A镀金触点可用于低电平转换

双电离规操作

两个规管先后工作
热灯丝型电离规管,例如B-A规

远程输入和输出

为IG1、IG2和故障检测提供状态继电器触点
为IGI、IG2和除气提供远程打开/关闭控制
为前面板开关提供锁定装置
除气
电子轰击(EB):10-40瓦特(可调整)
I2R:额定电压为8伏,固定功率最高为80瓦特
如果已选择EB除气,建议使用UHV电位计可进行除气电源调整与发射电流设置无关
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