半导体质量流量控制器
半导体质量流量控制器
MADEE5000系列是大型平板显示器制造工厂里主要使用，是半导体制造公证主要活映在工艺腔体中。
特点
流量比控制器
快速响应时间: ≤3Sec
高精度: ≤2% of S.P
多频道可用: 5000s 2~6CH / 5100s 2~4CH
耐腐蚀性强: 电抛光<0.1um RA
通讯:D-NET / EtherCAT
技术规格
| 型号 | MADEE5000 | ||||
| 流量范围（N2等效） | 300SCCM~2SLM | ||||
| 流量控制范围 | 3~100% of F.S | ||||
| 精确度 | ≤±0.5%of F.S (3~25%) ≤±2.0% of S.P (25~100%) | ||||
| 响应时间 | ≤3秒（≤SEMI标准） | ||||
| 重复时间 | ≤±0.3%满量程 | ||||
| 零稳定性 | ＜±0.5%满量程/年 | ||||
| 温度系数 | 0.01%满量程/℃ | ||||
| 表面润湿材料 | STS316L VIM VAR & Electro-Polished(<0.1um RA) | ||||
| 密封件类型 | METAL | ||||
| 泄漏完整性 | Metal: ≤5X10-12Paㆍm3/S(He) PTFE : ≤1X10-8Paㆍm3/S(He) | ||||
| 工作温度范围 | 5~50˚C(Recommended : 15~35˚C) | ||||
| 预热时间 | 30min (Accuracy Guaranteed : 60min) | ||||
| 最大入口压力 | 100kPa(A) | ||||
| 工作压差 | ≥20kPa(D) | ||||
| 通讯 | D-Net | ||||
| 电源/功耗 | 24VDC,7.2W max (reference for 1 channel) | ||||
质量流量控制器订购参数确认单