半导体质量流量控制器
半导体质量流量控制器
MARU8000HT系列是 高温环境里气化的控制前驱体. 高温环境里测定和控制技术计划持续开发，将温度范围扩大到200摄氏度.
特点
高温用 MFC
快速响应时间: ≤1Sec
两种测量方法: Thermal, 压力 Sensor
耐腐蚀性强: 电抛光<0.1um RA
适用于150度高温
支持纤薄型MFC: 具有紧密性
支持低压差: ≥3.8kPa (最低 D.P)
通讯:D-NET / EtherCAT / RS485 / Analog V&A
技术规格
| 型号 | MARU8000HT | ||||
| 流量范围（N2等效） | 300SCCM~5SLM | ||||
| 流量控制范围 | 2~100% of F.S (D-Net, E-CAT, RS485) 5~100% of F.S (0~5V, 4~20mA) | ||||
| 精确度 | ≤±0.3% of F.S (Flow Rate≤30%) ≤±1.0% of S.P (Flow Rate>30%) | ||||
| 响应时间 | ≤1秒（≤SEMI标准） | ||||
| 重复时间 | ≤±0.2%满量程 | ||||
| 零稳定性 | ＜±2%满量程/年 | ||||
| 温度系数 | 0.01%满量程/℃ | ||||
| 表面润湿材料 | STS316L VIM VAR & Electro-Polished(<0.1um RA) | ||||
| 密封件类型 | METAL | ||||
| 泄漏完整性 | ≤5X10-12Paㆍm3/S(He) | ||||
| 工作温度范围 | 90˚C / 120˚C / 150˚C | ||||
| 预热时间 | 4hour (Accuracy Guaranteed : 6hour) | ||||
| 最大入口压力 | ＜Boiling Point (at Using Temperature) | ||||
| 工作压差 | ≥3.8kPa(D) | ||||
| 通讯 | D-Net | ||||
| 电源/功耗 | +15~24VDC, 7.2W max | ||||
质量流量控制器订购参数确认单