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Hicube泵组

Hicube 系列移动式真空泵组在业界设立了新的标准:最新系列的HiPace涡轮分子泵和根据客户应用需求可选的前级泵系列完美结合。  Hicube 真空泵组系列主要分为Hicube ECO(经济型)、Hicube Classic、Hicube Pro三种真空泵组。真空泵组可选择干泵或旋片泵作为前级泵,极限真空度可达 5 * 10-10mbar。针对特别有限的空间要求,Hicube 真空泵组中还特别提供尺寸非常紧凑的 HicubeEco经济型泵组,其抽速范围从 35 l/s 至 67 l/s。

根据HiPace 涡轮分子泵选择的不同,HiCube真空泵组还可以分为HiCube 80真空泵组系列、HiCube 300真空泵组系列、HiCube 400真空泵组系列、HiCube 700真空泵组系列。

特点

涡轮分子泵和前级泵的完美结合;适合多种应用需求;

模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求;各部件配合简便,易于保养维修;

集成的驱动系统,无需额外的控制系统;“即插即用”-无需布线和安装;

意外断电时,前级真空安全阀(可选.)可保护真空腔体免受返流影响;

可以直接连接真空计

应用

研发

加速器

分析和表面物理学

真空工艺技术

一般真空应用

技术规格

参数

型号

连接法兰

抽速L/S

极限真空mbar

前级泵抽速m3/h

入口

N2

Hicube 80 Eco

KF40

35

10-7

15L/min

Hicube 80 Eco

ISO-K 63

67

10-7

15/min

Hicube 80 Eco

CF63

67

10-7

15L/min

Hicube Classic

法兰连接

抽速L/S

极限真空mbar

前级泵抽速m3/h

入口

N2

MVP040

MVP070

DUO 3

DUO5M

MVP040

MVP070

DUO 3

DUO5M

Hicube 80 Classic

KF40

35

10-7

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 80 Classic

ISO-K 63

67

10-8

10-8

5*10-10

5*10-10

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 80 Classic

CF63

67

10-7

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 300 Classic

ISO-K100

260

10-7

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 300 Classic

CF100

260

10-8

10-8

5*10-10

5*10-10

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 400 Classic

ISO-K100

355

10-7

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 400 Classic

CF100

355

10-8

10-8

5*10-10

5*10-10

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 700 Classic

ISO-K160

685

10-7

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 700 Classic

CF160

685

10-8

10-8

5*10-10

5*10-10

2.3

3.8

2.9

5

Hicube Pro

法兰连接

抽速L/S

极限真空mbar

前级泵抽速m3/h

入口

N2

ACP

Duo

Pascal

ACP

Duo

Pascal

Hicube 80 Pro

KF40

35

10-7

14/27

9/20

9/18

Hicube 80 Pro

ISO-K 63

67

10-7

14/27

9/20

9/18

Hicube 80 Pro

CF63

67

5*10-10

14/27

9/20

9/18

Hicube 300 Pro

ISO-K100

260

10-7

14/27

9/20

9/18

Hicube 300 Pro

CF100

260

5*10-10

14/27

9/20

9/18

Hicube 400 Pro

ISO-K100

355

10-7

14/27

9/20

9/18

Hicube 400 Pro

CF100

355

5*10-10

14/27

9/20

9/18

Hicube 700 Pro

ISO-K160

685

10-7

14/27

9/20

9/18

Hicube 700 Pro

CF160

685

5*10-10

14/27

9/20

9/18

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