Hicube泵组
Hicube泵组
Hicube 系列移动式真空泵组在业界设立了新的标准：新系列的HiPace涡轮分子泵和根据客户应用需求可选的前级泵系列完美结合。 Hicube 真空泵组系列主要分为Hicube ECO（经济型）、Hicube Classic、Hicube Pro三种真空泵组。真空泵组可选择干泵或旋片泵作为前级泵，极限真空度可达 5 * 10-10mbar。针对特别有限的空间要求，Hicube 真空泵组中还特别提供尺寸非常紧凑的 HicubeEco经济型泵组，其抽速范围从 35 l/s 至 67 l/s。
根据HiPace 涡轮分子泵选择的不同，HiCube真空泵组还可以分为HiCube 80真空泵组系列、HiCube 300真空泵组系列、HiCube 400真空泵组系列、HiCube 700真空泵组系列。
特点
涡轮分子泵和前级泵的优秀结合；适合多种应用需求；
模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求；各部件配合简便，易于保养维修；
集成的驱动系统，无需额外的控制系统；“即插即用”-无需布线和安装；
意外断电时，前级真空安全阀（可选.）可保护真空腔体免受返流影响；
可以直接连接真空计
应用
研发
加速器
分析和表面物理学
真空工艺技术
一般真空应用
技术规格
参数 型号 | 连接法兰 | 抽速L/S | 极限真空mbar | 前级泵抽速m3/h | ||||||||||
入口 | N2 | |||||||||||||
Hicube 80 Eco | KF40 | 35 | 10-7 | 15L/min | ||||||||||
Hicube 80 Eco | ISO-K 63 | 67 | 10-7 | 15/min | ||||||||||
Hicube 80 Eco | CF63 | 67 | 10-7 | 15L/min | ||||||||||
| Hicube Classic | 法兰连接 | 抽速L/S | 极限真空mbar | 前级泵抽速m3/h | ||||||||||
入口 | N2 | MVP040 | MVP070 | DUO 3 | DUO5M | MVP040 | MVP070 | DUO 3 | DUO5M | |||||
Hicube 80 Classic | KF40 | 35 | 10-7 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | |||||||
Hicube 80 Classic | ISO-K 63 | 67 | 10-8 | 10-8 | 5*10-10 | 5*10-10 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | ||||
Hicube 80 Classic | CF63 | 67 | 10-7 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | |||||||
Hicube 300 Classic | ISO-K100 | 260 | 10-7 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | |||||||
Hicube 300 Classic | CF100 | 260 | 10-8 | 10-8 | 5*10-10 | 5*10-10 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | ||||
Hicube 400 Classic | ISO-K100 | 355 | 10-7 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | |||||||
Hicube 400 Classic | CF100 | 355 | 10-8 | 10-8 | 5*10-10 | 5*10-10 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | ||||
Hicube 700 Classic | ISO-K160 | 685 | 10-7 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | |||||||
Hicube 700 Classic | CF160 | 685 | 10-8 | 10-8 | 5*10-10 | 5*10-10 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | ||||
| Hicube Pro | 法兰连接 | 抽速L/S | 极限真空mbar | 前级泵抽速m3/h | ||||||||||
入口 | N2 | ACP | Duo | Pascal | ACP | Duo | Pascal | |||||||
Hicube 80 Pro | KF40 | 35 | 10-7 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 80 Pro | ISO-K 63 | 67 | 10-7 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 80 Pro | CF63 | 67 | 5*10-10 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 300 Pro | ISO-K100 | 260 | 10-7 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 300 Pro | CF100 | 260 | 5*10-10 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 400 Pro | ISO-K100 | 355 | 10-7 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 400 Pro | CF100 | 355 | 5*10-10 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 700 Pro | ISO-K160 | 685 | 10-7 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 700 Pro | CF160 | 685 | 5*10-10 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||