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CDG100Dhs加热型电容膜片真空计

INFICON Stripe高速电容膜片真空计是目前速度最快的高精度真空测量仪器。响应时间不到2毫秒,配备EtherCAT现场总线接口,开拓了全新的应用领域。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性,而且具有无与伦比的零位稳定性。Stripe随附INFICON已获专利的独特传感器屏蔽,用于保护真空计,使其免受不需要的过程副产品的影响。INFICON Stripe采用创新加热概念,提供凉爽的接触表面和独特的速度性能,可实现前所未有的生产力提升,成为同类产品中最先进的真空仪器。

特点

高生产力 — 响应时间不到2毫秒

灵活集成 — EtherCAT现场总线

使用寿命长 — 经验证的陶瓷传感器

无需重新校准 — 90ppm/年全方位稳定性

应用

原子层沉积

高速过程控制

PVD、CVD、蚀刻

一般高温真空应用

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