CDG100Dhs加热型电容膜片真空计
CDG100Dhs加热型电容膜片真空计
INFICON Stripe高速电容膜片真空计是目前速度较快的高精度真空测量仪器。响应时间不到2毫秒,配备EtherCAT现场总线接口,开拓了全新的应用领域。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性,而且具有零位稳定性。Stripe随附INFICON的传感器屏蔽,用于保护真空计,使其免受不需要的过程副产品的影响。INFICON Stripe采用创新加热概念,提供凉爽的接触表面和速度性能,可实现生产力提升。
特点
高生产力 — 响应时间不到2毫秒
灵活集成 — EtherCAT现场总线
使用寿命长 — 经验证的陶瓷传感器
无需重新校准 — 90ppm/年全方位稳定性
应用
原子层沉积
高速过程控制
PVD、CVD、蚀刻
一般高温真空应用
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