压力控制系统
压力控制系统
APC200与GPC3000压流控制器基本上是为电容压力计提供一个电源(±15VDC)，与之相应的压力信号连接显示器，同时使用PID排气节流阀节流阀或Self-Tuning功能将压力控制连接起来的系统，其中,使用“Self-Tuning”功能,可根据流入室中气体的量、泵抽速度、阀位中的真空压力变化,以及其他重要的参数感知压力控制系数。使用此功能作压力控制时,可以更快地达到所需的压力。内置2个过程限制继电器,可帮助用户集成在装备中。
特点
至多可以连接4个MFC的PCB卡，每张PCB由2通道(2个MFC)组成。
标准的面板安装,通讯方式I/O或RS-232远程(RS-485选项)，实现所有远程控制都是可能的。
技术规格
阀门操作 | ATV1000排气节流阀，MKS型653和253排气节流阀及其他 |
压力输入信号 | 标准0-10Vdc |
输入功率要求 | 90-132或180-264 VAC, 50/60 Hz |
设置点 可编程的 外部模拟 | 总共5个，可在任何组合中编程，用于压力或阀位置 （可从前面板调节或从前面板旋转RS232设定、TTL或RS232） 0-10VDC |
控制器重复性 | ±0.1% F.S |
环境运行温度 | 15℃ - 45℃ |
输出功率 | ±15 VDC ±5% @ 1.5 Amp |
模拟量输出信号 | 0 - 10vdc用于0-100%阀门位置,0 - 10vdc用于1-100%满量程压力 |
尺寸 | 1/2机架安装:88mm 宽 x 241mm 长 x 225 高 |
显示 | LCD(压力、位置和外部设定点读数) |
显示单位 | Torr, mTorr, mbar, Pascal, cmH20, inH20, mbar, kpa 标准 |
PID控制 | 标准 |
远程零点 | 标准 |
接口 | 前面板设置，模拟，TTL和RS232，（RS-485选项） |
继电器输出 | 2个过程继电器: 24 Volts AC/DC 0.5Amp 电阻 |
远程控制 （打开、关闭、保持） | 标准 |
位置控制能力 | 标准 |
ATV1000排气节流阀
ATV1000是用来调节真空腔体压力的，可以控制大范围的压力。ATV1000是设计与GPC3000兼容使用的。
ATV1000-B在阀内安装了调节电导的板，和百叶窗形态一样，与其他阀不同的排期节流阀，即使板是90度开启，也不干涉腔体其他的部件，板可以自由动作。为了空间的一些适配管道与法兰，都没有必要安装，整体上节省了真空装备的体积和价格，并开发了大型尺寸的阀门。
特点
使用高速电机、大大缩短了位置点抵达的时间,提高设备的吞吐量而设计的。
ATV1000可以与GPC3000控制器连接使用,其他公司产品的控制器也可以连接使用（如MKS）
“节流阀”将挡板的位置在用户外部也可以确认,即便阀的动作是否在装备中脱离，可以确认。
“节流阀”法兰通常使用ISO-NW,但根据顾客的要求,也可以提供CF,ASA,JIS等法兰。
ATV1000-B优势
ATV1000-B阀门式样
技术规格
阀门速度（开闭） | 1.5sec |
分辨率 | 1/24000 |
驱动方式 | PID单独传动 |
阀体工作温度 | 标准：0-100℃ 可选：0-150℃ |
阀工作环境温度 | -20℃至40℃ |
阀的压差 | 1atm（15psi） |
泄漏率 | 1x10-8sec/sec He |
暴露在工艺中的材料 | 标准：304，Viton（密封材料可选） 可选：316，Viton（密封材料可选，具体联系工程师） |
兼容的控制器 | GPC3000,MKS 651 or 1651 |
控制器输出转矩 | 800 in-oz |
关闭-泄漏率 (带有O型圈的阀门) | <10-7(Torr l/s)> |
ACM200电容薄膜真空计
ACM200 电容薄膜压力计，通常安装在真空腔体或管道上，读取实时压力，±15VDC的电源和0 - 10VDC信号输出的，广泛用于半导体工程和真空工业设备。
特点
直接测量方式测量压力
无关气体组分影响
可应用于腐蚀性气体环境，适合于各类制程应用
可搭配Atovac仪表，实时显示
测量范围从10E-4Torr至1000TOrr，覆盖大多数制程压力范围
技术规格
压力范围（满量程） | 1、2、10、100、1000 |
压力 | 0.01%满量程 |
精度 | ±0.25%读数 可选：±0.15%读数 |
温度效应 零点 跨度 | 0.002% 满量程/°C 0.02% 读数/°C |
工作环境温度 | 0℃至50℃ |
暴露于气体中的材料 | 铬镍铁合金 |
泄漏率 | 1x10-8sec/sec He |
压力高可达 | 310Kpa |
电源要求 | ±15VDC (±5%) @ 35 mA |
输出信号 | 0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load |
法兰 | 8 VCR, NW16KF |
MFC是“质量流量控制器”的缩写,气瓶上出来的气体，用户有时所需的是一定流量的值。虽然每个制造厂商都有一些差距,但一般都采用SCCM(标准立方厘米/分钟)。
特点
设计用于半导体制程和工业使用
满量程流量从5sccm至200slm
1%满量程的精度
可搭配GMC1200仪表显示，也可用于APC200、GPC3000等仪表组成压力控制系统
技术规格
流量范围（满量程） | AFC500/AFC600：5sccm至50slm AFC770：51至200slm |
进气压力可达 | 150psig |
正常工作压差（与在大气压，MFC出口） 10至5000sccm 10000至20000sccm AFC770 | 10至40 psid 15至40psid 40至70psid |
精度（模拟量） (包括760Torr和0℃下的非线性、滞后和非重复性) | ±1%满量程 |
重复性 | ±0.2%满量程 |
分辨率 | 1%满量程 |
温度系数 零点 跨度 | <0.05 % 满量程./°C <0.05 % 满量程. |
预热时间（达到稳态性能的0.2%以内） | ＜2分钟 |
控制器调节时间 | ＜2sec |
压力系数 | <0.02 % of Rdg./psi |
工作温度范围 | 0-50℃ |
电源 | ±15 VDC (±5%) |
设定值命令信号 | 0-5Vdc |
输出信号 | 0-5Vdc |
法兰 | VCR, LOK |
接口 | 9针D-sub |
材料 | 316L，密封Viton（AFC600：Kalrez） |
外部泄漏完整性(scc/sec He) 通过关闭阀门 | < 1×10（-9） <1.0%的F.S.，在40 psig的大气入口（为确保无流量通过，建议使用单独的正压切断阀。） |
压强控制系统示意图
