GMC1200流量/压力控制器
GMC1200流量/压力控制器
GMC1200流量压力控制器是给MFC(质量流量控制器)提供电源(±15VDC),流量显示,稳定的电压设置点(0 ~ 5VDC),使MFC能够准确地成为控制的装置。也可以用电容压力计代替MFC对压力进行显示。(0 - 10 VDC压力信号),如果你添加上游压力控制板作为选择选项,则可以另加压力控制模式,在连接各通道的MFC中,任意选择想要的通道,用气体的量可以自动控制想要的压力,同时压力也可以显示。
通过微处理器进行“控制”处理,而且还可以利用rs - 232接口进行“PC控制”操作。
特点
采用高速微处理器。
使用(±电压显示)16位双A / D控制
容易辨认的LCD显示。
流量或压力的单位，用户可以直接设置。
2、4、6、8通道可选。
您可以通过连接电容压力计测定压力。
每个频道的流量都可以控制。
总流量累计功能
使用MFC与电容压力计,可选上游压力控制
技术规格
| 尺寸 | 宽*长*高 241mm*88mm*200mm |
| 电气特性 | |
| 输入功率 | 195 ~ 265VAC @50/60 Hz 85VA 默认 98 ~ 135VAC @50/60 Hz 85VA可选 |
| 熔断器额定值 | 250 VAC @3 A |
| 输出功率 | +/-15VDC ±5% @2.7A |
| 工作温度 | 0 ~ 50°c |
| 输入信号 | 0 ~ 5VDC for MFC 0 ~ 10VDC for 电容式压力计 |
| 输出信号 | 0 ~ 5VDC for MFC 指令 |
| 显示窗口 | 128*64 LCD显示器 |
| 显示单位 | sccm, slm表示MFC, Torr表示CM |
| 接口 | RS - 232、TTL接口 |
MFC是“质量流量控制器”的缩写,气瓶上出来的气体，用户有时所需的是一定流量的值。虽然每个制造厂商都有一些差距,但一般都采用SCCM(标准立方厘米/分钟)。
特点
设计用于半导体制程和工业使用
满量程流量从5sccm至200slm
1%满量程的精度
可搭配GMC1200仪表显示，也可用于APC200、GPC3000等仪表组成压力控制系统
技术规格
流量范围（满量程） | AFC500/AFC600：5sccm至50slm AFC770：51至200slm |
进气压力高可达 | 150psig |
正常工作压差（与在大气压，MFC出口） 10至5000sccm 10000至20000sccm AFC770 | 10至40 psid 15至40psid 40至70psid |
精度（模拟量） (包括760Torr和0℃下的非线性、滞后和非重复性) | ±1%满量程 |
重复性 | ±0.2%满量程 |
分辨率 | 1%满量程 |
温度系数 零点 跨度 | <0.05 % 满量程./°C <0.05 % 满量程. |
预热时间（达到稳态性能的0.2%以内） | ＜2分钟 |
控制器调节时间 | ＜2sec |
压力系数 | <0.02 % of Rdg./psi |
工作温度范围 | 0-50℃ |
电源 | ±15 VDC (±5%) |
设定值命令信号 | 0-5Vdc |
输出信号 | 0-5Vdc |
法兰 | VCR, LOK |
接口 | 9针D-sub |
材料 | 316L，密封Viton（AFC600：Kalrez） |
外部泄漏完整性(scc/sec He) 通过关闭阀门 | < 1×10（-9） <1.0%的F.S.，在40 psig的大气入口（为确保无流量通过，建议使用单独的正压切断阀。） |