ETI Gauge
ETI Gauge
ETI公司生产的Bayard Alpert离子计(也称为真空规、真空传感器或热阴极离子计),具有耐烧损的铱灯丝或钨丝用于真空测量,具有从10-11到10-3 Torr极宽的测量范围。并有双灯丝的设计,在第 一个灯丝烧坏或严重污染,使用第 二灯丝,可以延长真空计的使用寿命和清洗热阴极污染。
ETI 4336系列是标准的玻璃Bayard Alpert离子计,测量范围从10-10到10-3 Torr,有双钨丝和单铱丝版本。
ETI 8142离子计的内部涂有铂,保护真空规部件免受在各种热阴极工作条件下可能发生的静电和静电荷影响。
ETI 8140和8130是裸离子计,8130的测量范围从10-11到10-3 Torr,可用于UHV超高真空测量。
特点
低成本真空规
双灯丝设计延长真空规的使用寿命
可靠稳定的热阴极技术
耐污染真空规,耐气体进入
应用
一般真空测量
高真空排气台
技术规格
型号 | 8130 | 8140 | 4336/8142 |
测量范围 | 2*10-11Torr至10-3Torr | 4*10-10至10-3Torr | 4*10-10至10-3Torr |
精度-N2(典型值) | ±20% | ±20% | ±20% |
X射线极限 | 2*10-11Torr | 4*10-10Torr | 4*10-10Torr |
灵敏度-N2 | 25/Torr | 10/Torr | 10/Torr |
电子轰击除气EB | 高可达40W | 高可达100W,通常70W | 高可达100W |
焦耳除气I2R | 不适用 | 10A时,6.5至7.3Vac | 10A时,6.5至7.3Vac |
阴极-加热电流 | 2.5-3.5A | 4-6A | 4-6A |
阴极-加热电压 | 3-5V | 3-5V | 3-5V |
阴极-电压 | +30Vdc | +30Vdc | +30Vdc |
收集极电压 | 0V | 0V | 0V |
栅极电压 | +180Vdc | +180Vdc | +180Vdc |
烘烤 | 450℃ | 450℃ | 450℃ |
收集极 | 0.005英寸直径,钨丝 | 0.01英寸直径,钨丝 | 0.01英寸直径,钨丝 |
阴极 | 双钨丝或双铱丝,可更换 | 铱丝,可更换 | 双钨丝或单根铱丝 |
栅极 | 难熔金属 | 难熔金属 | 难熔金属 |
全长 | 76mm | 76mm | 152mm |
插入长度 | 76mm | 76mm | 无 |
外壳 | 裸规,CF35法兰 | 裸规,CF35法兰 | Nonex 7220玻璃 |
安装方向 | 任意 | 任意 | 任意,垂直优先 |