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CDG160D加热型电容膜片真空计

INFICON SKY CDG160D,CDG200D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG160D真空计温度控制在 160 °C,CDG200D 真空计温度控制在 200 °C,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质优秀,极具成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。

特点

拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗

易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点

轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移

诊断端口便于快速服务与维护

加热保护和真空计保护延长了使用寿命

优秀的信号稳定性和可重复性,即使是非常严苛的等离子应用,都无需长期执行重新校准

合规和标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS

应用

蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程

化学和腐蚀性高温过程

需要真空计保护的一般薄膜和真空过程

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