潘宁真空计
潘宁真空计
INFICON 潘宁真空计 PEG100 可以提供可靠的高真空测量。坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现丝极烧毁的现象。由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低，潘宁真空计还可在溅射应用环境下运行。现场总线选件以及对数模拟输出信号允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议，将真空计轻松集成到真空系统中。
特点
测量范围可达 1 X 10-9 - 1 X 10-2 mbar (7.5 X 10-10 - 7.5 X 10-3Torr)
全金属冷阴极传感器（潘宁）带有陶瓷馈入装置
新创的电极几何形状提供卓越的点火属性
等离子点火后高压降低以及采用钛阴极板，降低了污染风险，即使是使用氩气进行溅射操作期间
阳极环和钛阴极可以轻松进行清洁或更换
降低真空计附近的磁场强度
LED 指示器用于显示电源及等离子点火状态
对数模拟输出信号
现场总线接口（Profibus DB、DeviceNet）允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中
应用
高真空压力监控
蒸发镀溅系统
高真空范围内的一般真空测量和控制
技术规格
| 型号 | PEG100 | |
| 测量范围 | 1 × 10E-9至10E-2 mabr | |
| 精度（N2） | ≈±30%读数 | |
| 重复性 | ≈±5%读数 | |
| 输出信号 | 0 至 +10.6VDC | |
| 电源电压 功率 | +14.5至+36Vdc ≤2 W | |
| 电气连接件 | FCC 8脚 | |
| 工作温度 | +10至+50℃ | |
| 安装方位 | 任何 | |
| 防护等级 | IP40 | |
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