BAG302离子真空计
BAG302离子真空计
INFICON Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG302 涵盖从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）的广泛测量范围。紧凑型一体化热电离真空计 BAG302 能够轻松地更换双灯丝传感器、内置 OLED 显示器、设定点继电器和对数线性模拟输出以及集成 RS485 数字接口，提高了集成灵活性。这些功能配以坚固的设计，使 BAG302 为其自身的基本压力测量仪器带来经济且可重复的过程，并提供高价值、低拥有成本的选择。
特点
测量范围从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）
双标准长使用寿命氧化钇铱丝
一体式主动测量仪，内置显示器、设定点、模拟输出和标准集成式 RS485 数字接口
带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏，简化设置、操作和编程
用户可编程的设定点继电器
用户可编程的显示器单位：mbar、Torr 或 Pa
用户可选的发射电流自动设换范围
机械强度和坚固性
各种法兰的选择
易于更换的传感元件
合规和标准：CE、RoHS
应用
对半导体过程和传输腔室的压力测量
工业镀膜
低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制
技术规格
测量范围 | 1*10﹣9至5*10-2Torr/1.3*10-9至6.7*10-2mbar/1.3*10-7至6.7Pa |
精度 | 10-8至5*10-2Torr ±15%读数 |
重复性 | ±5%读数 |
显示 | OLED,3位数+1位指数，Torr,mbar,Pa单位可选 |
X-射线极限 | 5*10-10Torr |
发射电流 | 100Μa,4mA或自由切换之间 |
除气 | 3W,EB |
烘烤温度 | 200℃，仅规管 |
安装方式 | 任意 |
重量 | 270g |
数字接口 | RS485-ASCII协议 |
信号输出 | 线性模拟量0-9V |
设定继电器 | 1个设定点继电器,1W,30A直流或交流无感电阻 |
电源 | 20-28Vdc,30W,防止反转保护和瞬态过电压。 |
灯丝 | 双氧化钇涂铱丝或双钨丝 |
电气接口 | 9 Pin D-Sub模拟和9Pin D-sub RS485 |
认证 | 符合CE标准 |
环境认证 | 符合RoHs标准 |
订购资料
