残余气体分析仪
残余气体分析仪
XT系列
Extorr是一家专业研究及生产残余气体分析仪（RGA）的公司，拥有XT系列残余气体分析仪，原理是四极质谱仪，RGA内置电阻规和离子计。是一种重要的测量设备，可用于任何真空系统。Extorr XT残留气体分析仪(RGA)有1-100amu,1-200amu和1-300amu质量数范围。RGA配置一个标准的CF2.75英寸法兰。每个功能都具有自动启动和关闭，并将不断监测从大气压至超高真空。内置的皮拉尼压力计和离子压力计不断监测总压力，并调节和保护RGA。这些功能被无缝地集成到Extorr VacuumPlus软件包中。
特点
内置皮拉尼压力计和离子压力计的残余气体分析仪
1-100、1-200和1-300 amu质量数范围可选
标准法拉第探测器（FC）与可选的电子倍增器（EM）
实时Windows软件能够进行多台RGA同时操作
现场可更换两根敷钍的铱丝
优于1 amu分辨率
8个数量级的动态范围在一次扫描
质谱，泄漏检测和压力随时间的变化
内建诊断，容易升级的软件和固件
完全可插入的探头
应用
泄漏测试
等离子体特性
基准压力监测
表面科学
真空工艺监控
真空技术教育
真空炉监控
材料制造
电子显微镜
材料分析
RGA技术规格
| 质量数范围 | |
| XT100 | 1-100 amu 法拉第杯 (FC) |
| XT200 | 1-200 amu 法拉第杯 (FC) |
| XT300 | 1-300 amu 法拉第杯 (FC) |
| XT100M | 1-100 amu 法拉第杯 (FC)和电子倍增器 (EM) |
| XT200M | 1-200 amu 法拉第杯 (FC)和电子倍增器 (EM) |
| XT300M | 1-300 amu 法拉第杯 (FC)和电子倍增器 (EM) |
| 类型 | 四极质谱仪 |
| 探测器类型 | 标准：法拉第杯 (FC) 可选：电子倍增器 (EM) |
| 分辨率 | 大于0.5 amu@10%峰值高度。可在整个质量范围内调节至恒定的峰值宽度。 |
| 灵敏度（A/Torr） | 5×10-4Torr（FC）。用户可在整个高压范围内调节。用N2@28 amu测量，全峰宽1 amu，高度10%，电子能70 ev，离子能6 ev，电子发射电流2 mA。 |
| 可检测分压 | 5 × 10–11 Torr (FC) 5 × 10–14 Torr (EM) |
| 工作范围 | RGA：≤10–4 Torr 皮拉尼计：10–3 Torr至大气压 离子计：≤10-2Torr |
| 工作温度 | 电路部分：50℃ 探头：100℃ |
| 烘烤温度 | 300℃（仅探头，移除电路部分） |
| 总压强测量 | 皮拉尼计：10-3 Torr 至大气压, 离子计：2 x 10-10 Torr至10-2 Torr |
| 离子源 | |
| 设计 | 开放离子源，电子撞击电离 |
| 材质 | SS304、Kovar、钨、氧化铝、铱、铜、镍、氧化钍、白金 |
| 灯丝 | 双钍涂层铱灯丝，带固件保护。内置1到30W的电子脱气装置（可现场可更换） |
| 电子能量 | 11至150V,可编程的 |
| 离子能量 | 1至12V,可编程的 |
| 聚焦电压 | 0至150V,可编程的 |
| 发射电流 | 0.1至4 mA,可编程的 |
| 其他参数 | |
| 探头长度 | 172.72mm，从法兰到顶端 |
| 法兰 | CF40（2.75”） |
| 探头管内径 | 35mm |
| 电路部分体积 | 84 x 122 x 188mm, 可拆卸 |
| 预热时间 | 30分钟质量稳定性±0.1 amu |
| 计算机接口 | RS-232C, 至高115,200波特率,或USB. |
| PC要求 | PC运行Windows 2000, XP, 7,8或10系统，1024 x 768VGA图形显示器，键盘，鼠标，光盘驱动器，和一个未使用的USB或RS-232C端口。 |
| 软件 | 随机附带VacuumPlus窗口软件，基于应用程序需要Windows 2000,XP,7,8,10系统 |
| 电源 | 24 VDC @ 2.5 Amps，120/240 VAC电源适配器. |
| 重量 | 2.27Kg（探头及电路部分） |