涡旋真空泵
涡旋真空泵
nXDS 35i
nXDS 46i
Edwards XDS35i 和XDS46i泵具有创新的轴承护罩设计,可将真空环境与所有形式的润滑剂隔离开来,使之不仅完全干燥,而且完全密封。该屏蔽还能保护轴承免受任何制程蒸汽的影响。两款泵都有耐腐蚀性版本。
XDS46i 泵是在 XDS35i 基础上开发的产品,因此两者具备相同的功能和优势,但前者的峰值泵速可达 40m3/hr。当入口压力在 1 mbar 到 10 mbar 之间时,XDS46i 针对更大的抽速进行了优化,因此非常适合需要比 XDS35i 的抽速更高抽速的 LCMS 和 ICPMS 应用。端部密封技术的更新改进减少了端部密封的磨损,从而延长了维修干预之间的时间间隔。变换器驱动控制着电机的特性,确保泵总是以优化速度运行,并使用户可以对泵进行远程控制。
气镇允许处理蒸汽,将应用范围拓展到以前许多不适用滚轴泵的情况。变频器驱动装置控制着电机特性,可确保泵总是以较高的转速运转。
特点
真空外壳中不需要使用润滑剂,完全密封可保证彻底的清洁和干燥真空,防止交叉污染
无大气压到真空的轴封可使轴承完全隔离,从而阻止制程攻击,轴承也能以更低温度运行,使用时间更长
无需更换润滑油,也就消除了处置被污染的润滑油所需的费用
简单的单侧滚轴设计意味着维护工作可在数分钟内完成,降低运行成本,尽可能延长正常运行时间
变换器驱动可使抽速稳定维持在 50/60Hz
应用
清洁泵送应用
汽车
射束线和高能物理
超高速离心机
LCMS 入口
ICPMS 入口
涂层
技术规格
型号 | XDS35i | XDS46i |
抽速m3/h | 35 m3/h | 40 m3/h |
极限真空(总压力) | 1 x 10-2 / 8 x 10-3mbar/Torr | |
较大水蒸汽进气口压力 | 35 mbar/23 Torr | 40 mbar/30 Torr |
水蒸汽泵送速率-GB I | 70 g/h | |
水蒸汽泵送速率-GB II | 240 g/h | |
较大允许出口压力 | 0.2bar | |
较大允许出口压力-GB | 0.5Bar | |
电机功率KW | 0.52 | |
转速rpm | 1750 | |
重量 | 48 kg | |
噪音 | 57 dB(A) | |
入口法兰 | NW40 | |
出口法兰 | NW25 | |
震动rms | <4.5 | |
泄漏率mbar.L/s | <1 x 10-6 | |
工作温度℃ | 10-40 |