干式真空泵
干式真空泵
Osaka干式螺杆真空泵，完全无油运作，适用于大多数洁净制程；体积小以及操作简单。
特点
排气速度：50L⁄min、230L⁄min、500L⁄min 3种产品
极限压力：DSP50：20Pa、DSP250 ⁄ 500：0.5Pa
洁净排气：没有油蒸气，粒子的逆流
无润滑油：无同步齿轮，也不需要润滑油
携带方便：小型，轻量，抗外部干扰
空冷规格
初期排气时间短，大气压附近排气速度快
低消费电力設計
应用
SEM，光刻
医疗设备
装载室，搬送室排气
分析仪器
加速器，离子源，电子枪的排气
一般产业
PVD或R&D
技术规格
| 型号 | DSP50 | DSP250 | DSP500 | |
| 排气速度（L/min） | 大 | 50 | 230 | 500 |
| 气镇开启 | 36 | 200 | 430 | |
| 极限压力（Pa） | 通常 | 20 | 0.5 | |
| 气镇开启时 | 200 | 2 | ||
| 法兰连接 | 进气口 | KF16 | KF25 | KF40 |
| 排气口 | RC1 | KF25 | ||
| 电源 | 电压（V） | 100-240 | 100-230 | |
| 频率（Hz） | 50/60 | |||
| 相数 | 单相 | |||
| 容许电压精度 | ±10% | |||
| 功率（W） | 极限压力时 | 230 | 240 | 270 |
| 大 | 380 | 600 | ||
| 冷却方式 | 空冷 | |||
| 重量（Kg） | 9 | 15 | 20 | |