SQC-310 薄膜沉积控制器凭借技术、增强的显示和实惠的价格，INFICON SQC-310 系列提供同类薄膜控制器更多的优势。您可以为自己的应用选择理想的型号：连续沉积 (SQC-310) 或共沉积 (SQC-310C)。
特点
明亮的彩色 LCD 显示屏 - 提供英文或中文版本
标准 RS-232 和 USB（可选 RS-232 和以太网）
设有 “Quick Setup”（快速设定）菜单、6 个区分上下文按钮以及一个简便的参数设定旋钮，易于设定和操作
用于开发、测试和下载过程的 Windows程序，以及用于将仪器数据记录到 PC 进行过程分析与质量控制的 Windows 程序
精确的过程控制，尤其适用于低沉积速率，测量速率为每秒 10 个读数，测量分辨率为 ±0.03 Hz
存储容量可达 100 个过程、1000 层薄膜、50 种薄膜材料
使用单传感器或多传感器监控源材料，提供精确的源分布监控
技术规格
| 型号 | SQC310 | SQC310C | |
| QCM输入 | 2（可选4） | 4 | |
| 测量频率范围 | 可调: 1.0 MHz较低 6.5 MHz较高 | ||
| 频率分辨率 0.25s测量间隔 | ± 0.012Hz | ||
| 厚度和速率分辨率/测量 工具/密度 = 100/1，基础频率 = 6赫兹，0.25秒测量间隔 | ±0.015 Å | ||
| 频率稳定性 | ± 2 ppm, 0至50℃ | ||
| 测量周期 | 0.10至1s（可调） | ||
| 速率显示 | 0.01 Å/sec | ||
| 控制 存储 输出信号 数字输入 | 0至+10VDC 5VDC-非隔离 | ||
| 设定点继电器 | 8/8（16/16可选） | 16/16 | |
| 电气接口 | RS232标准（USB、以太网口可选） | ||
| 电源电压 | 100-240VAC，25W | ||
| 标准 | CE，RoHS | ||
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