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新型冷阴极真空计

INFICON MPG500倒置磁控管真空计是真空测量应用优秀的选择。MPG500将两个传感器系统整合在一个小装置中,测量范围从大气压至 1x10E–9毫巴。独特的可互换式双室传感器单元不用清洗并减少了维护,这使MPG500成为同类产品中很坚固和非常经济的真空计。MPG500冷阴极和组合真空计配备了完全集成的数字电子设备,使系统集成具有很强的灵活性。冷阴极和皮拉尼组合选项提供了跨越多个应用领域的无缝转换、可靠性、实用性和灵活性。

特点

在恶劣环境下,使用寿命长

低杂散磁场

零维护 - 可换插头

超紧凑尺寸

可靠的快速点火

抗腐蚀馈入装置

可选测量电流

应用

基本真空测量和控制,在蒸发和溅射镀膜应用中从大气压到高真空。

一般真空测量 - 工业炉、建筑玻璃、半导体、冰箱和空调。

分析和研发应用 – 质谱分析、电子显微镜、医疗、眼科、光学和高能物理。

技术规格

型号
MAG500MPG500
测量类别(倒磁控管原理)冷阴极电离真空计冷阴极/皮拉尼复合真空计
测量范围
10E-9至10E-2 mabr
10E-9至1000 mabr
精度(N2)
10E-8至10E-2 mbar

≈±30%读数
重复性
≈±5%读数
输出信号
3MBx-00x-0x0P(MPG500)
3MAx-00x-0x0N
3MAx-00x-0x0Q


+1.5至+8.5V
+0.667至10V
+1.398至+8.598V
电源电压
功率
+14.5至+30Vdc
≤2 W
工作电压≤3.3Kv
工作电流高≤500uA
工作电流低≤100uA
电气连接件
FCC 68/RJ45网口,8脚屏蔽;D-sub 9针
工作温度
+5至+55℃
烘烤温度
拆除电子部分
≤150℃
安装方位任何
防护等级IP40

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