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分子泵

STP-iX455

STP-iXL455

STP-iXR1606

STP-iXR2206

STP-iXA2206C

STPiX3006

STP-iXA3306C

STP-iXA4506C

Edwards STP集成控制器分子泵系列提供了行业领先的性能,并具有紧凑的尺寸集成板上控制单元。集成控制器不需要传统的机架式控制器和互连电缆。采用最新开发的革命性转子设计,提高了泵送性能。这个完全集成的产品提供了简单的安装和占用空间小,所有应用程序工具的一体化解决方案。

特点

提高的生产率-一流的领先的高吞吐量与更快的泵下到基本压力

体积紧凑-节省空间,便于安装

低拥有成本-低电力和公用事业消耗

免维护-经济实惠

应用

研发

计量和微观应用

Pre-clean过程

玻璃涂料系统

内联/批涂层系统

钢脱气

固态照明

半导体和FPD蚀刻系统

同步扫描电子显微镜(SEM)

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