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残余气体分析仪

RGA100、200、300amu残余气体分析仪拥有卓越的性能,能对真空系统进行详细的气体分析,相对同类型品牌产品有极高的性价比。每一台RGS系统都配有一套四极质谱仪、电子控制单元(RCU)和一个用于数据采集和分析、以及探针控制的实时Windows软件包。

特点

100、200、300amu质量数可选

<1amu 分辨率

检测极限5 × 10E−14 Torr

RGA Windows & LabVIEW软件包

现在可更换电子倍增器和灯丝

RS232和以太网远程接口

封闭式离子源气体分析仪

凭借优于1ppm的检测极限,mTorr压力下的直接采样,以及用户方便操作的Windows软件包,CIS系统将满足最严苛的制程。如:在线过程监控、使用点工艺气体纯度验证、高真空残余气体分析和工艺设备泄露检测等领域。

特点

100、200、300amu质量数可选

1ppm 检测极限

操作压力最高可至10mTorr

检测极限1 × 10E−12 Torr

RGA Windows & LabVIEW软件包

现在可更换电子倍增器和灯丝

RGA和真空系统封闭式

制程监控系统

PPR过程监控系统设计用于在线过程监控和诊断。残余气体分析仪(RGA)有两条通路:一条用于监测基本真空的高导电通路和一条用于监测工作压力下工艺的减压通路。减压通道拥有一个小孔,其设计用于以下压力之一下工作:0.01、0.1、1、10Torr。它将样品的压力降低到RGA工作的压力(约10E-6Torr)。这种降压是有一个涡轮分子泵和一个隔膜泵组成的真空系统维持的,两个泵都是无油真空泵,不会污染工艺过程。

此系统包括一个RGA、旁通阀总成和三通、ECU控制器、涡轮分子泵、隔膜泵和用于数据采集和控制的Windows软件程序。系统软件可在各种模式下操作仪器,包括模拟扫描、柱状图分析和压力、时间的模式。

法拉第杯和电子倍增器都是标准的配置,电子倍增器可提供更高的灵敏度和扫描速度。PPR系统在发货时已经完全组装并且校准,可直接连接到真空腔室。

RGA技术规格

系统
质量数
RGA1001 至 100amu
RGA2001 至 200amu
RGA3001 至 300amu
质量分析类型四级质谱
探测器类型法拉第杯(FC),标准
电子倍增器(EM),可选
分辨率高于0.5 amu@10%峰值(根据AVS标准2.3)高度。可在整个质量范围内调节至恒定的峰值宽度。
灵敏度(A/Torr)2×10-4(FC),<200(EM)。用户可在整个高压范围内调节。用N2@28 amu测量,全峰宽1 amu,高度10%,电子能70 ev,离子能12 ev,电子发射电流1 mA。
最小可检测分压
5 × 10E–11 Torr  (FC)
5 × 10E–14 Torr  (EM)
工作范围10E–4 Torr 至 UHV (FC)
10E–6 Torr 至 UHV (EM)
工作温度最高70℃
烘烤温度300℃(不带电子部分)
离子源
设计开放离子源,圆柱对称式,电子碰撞电离
材料SS304结构
灯丝钍铱丝,内置1至10W的电子脱气(可现场更换)。
电子能量25至105V,可编程
离子能量8至12V,可编程
聚焦电压0至150V,可编程
电子发射电流0至3.5mA,可编程
一般
探头尺寸从法兰面至电子器顶部,8.75英寸
探头插入2英寸
探头安装法兰CF35
最小管道内径
1.375英寸
ECU尺寸78.7mm × 104mm × 231mm ,烘烤时容易分离设计
LED指示灯电源开/关,灯丝开/关;
脱气开/关,电子倍增器开/关
RS232执行/错误,超压、灯丝烧毁
预热时间30分钟后质量稳定性为±0.1 amu
计算机接口RS-232C,28,800波特,带高级命令集
软件基于Windows的应用程序
电源要求24伏直流电@2.5安培,DB9公头连接器,可选内置电源模块,用于交流线路操作
重量2.72Kg

泵送规格

分子泵抽速70L/s,极限压力2 × 10E-9mbar
隔膜泵极限压力小于1mbar,防护等级IP44
冷却强制风冷

*其它详细参数请联系客服

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