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PRA、WRA残余气体分析仪

Edwards  RGA包括两种类型: PRA和WRA,都具有简单和高效的操作性,确保高性能和效率。

Edwards PRA提供了高性能分析和远程监控模式。PRA有四种分类可供选择,以满足您的过程需求,无论只是需要一个基本RGA还是更敏感/范围更广的RGA,PRA系列都是分析过程的基本选择。

Edwards WRA 是RGA的顶级产品,具有市场领先的设计与专利。有两种型号1-200或1-300 amu,可以测量工艺流程的各种气体以及产生的副产品。与PRA相比,具有更高的灵敏度,从而使测量更精确。

所有的RGA都配备了专用的,易于使用的软件,从笔记本电脑就可实时跟踪工艺过程,多达16个不同单位的详细分析。RGA本体上有一个面板显示,可以显示主要气体类型和系统的整体压力,而不必通过笔记本电脑连接或远程通讯读取。

特点

总压力测量

双灯丝

面板单元显示

易于更换零件

除气功能

离子源和EM多重保护

应用

PRA

高真空抽真空设备的残余气体分析

研发过程中的气体分析

冷冻干燥中的气体分析

PV/FPD/Semi气体分析

WRA

UHV设备的残余气体分析

有机材料分析

环境分析

气体杂质

技术规格

型号

PRA100

PRA100S

PRA200

PRA200S

WRA200S

WRA300S

质量数范围

1-100amu

1-200amu

1-300amu

质谱仪类型

QMS

探测器类型

FC

FC/EM

FC

FC/EM

FC/EM

FC/EM

灵敏度A/mbar

1x10-5

400/1x10-5

1x10-5

400/1x10-5

400/2.5x10-4

最小可测分压(mbar)

1x10-10

1x10-14/1x10-10

1x10-10

1x10-14/1x10-10

1x10-15/1x10-11

最高工作压力(mbar)

1x10-4

灯丝材质

Ir/Y2O3

工作温度

40℃

最大分析温度

120℃

250℃

最大烘烤温度(移除电子)

250℃

300℃

连接法兰

DN40CF

输入电源

DC24V ±10% 50W

重量

2.6

2.84

2.6

2.84

3.21

3.21

防护等级

IP30

串口通信

RS232C/RS485

分辨率

M/DeltaM=1M(10%PH)

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