PRA、WRA残余气体分析仪
PRA、WRA残余气体分析仪
Edwards RGA包括两种类型: PRA和WRA,都具有简单和高效的操作性,确保高性能和效率。
Edwards PRA提供了高性能分析和远程监控模式。PRA有四种分类可供选择,以满足您的过程需求,无论只是需要一个基本RGA还是更敏感/范围更广的RGA,PRA系列都是分析过程的基本选择。
Edwards WRA 是RGA的顶级产品,具有市场领先的设计与专利。有两种型号1-200或1-300 amu,可以测量工艺流程的各种气体以及产生的副产品。与PRA相比,具有更高的灵敏度,从而使测量更精确。
所有的RGA都配备了专用的,易于使用的软件,从笔记本电脑就可实时跟踪工艺过程,多达16个不同单位的详细分析。RGA本体上有一个面板显示,可以显示主要气体类型和系统的整体压力,而不必通过笔记本电脑连接或远程通讯读取。
特点
总压力测量
双灯丝
面板单元显示
易于更换零件
除气功能
离子源和EM多重保护
应用
PRA
高真空抽真空设备的残余气体分析
研发过程中的气体分析
冷冻干燥中的气体分析
PV/FPD/Semi气体分析
WRA
UHV设备的残余气体分析
有机材料分析
环境分析
气体杂质
技术规格
型号 | PRA100 | PRA100S | PRA200 | PRA200S | WRA200S | WRA300S |
质量数范围 | 1-100amu | 1-200amu | 1-300amu | |||
质谱仪类型 | QMS | |||||
探测器类型 | FC | FC/EM | FC | FC/EM | FC/EM | FC/EM |
灵敏度A/mbar | 1x10-5 | 400/1x10-5 | 1x10-5 | 400/1x10-5 | 400/2.5x10-4 | |
最小可测分压(mbar) | 1x10-10 | 1x10-14/1x10-10 | 1x10-10 | 1x10-14/1x10-10 | 1x10-15/1x10-11 | |
最高工作压力(mbar) | 1x10-4 | |||||
灯丝材质 | Ir/Y2O3 | |||||
工作温度 | 40℃ | |||||
最大分析温度 | 120℃ | 250℃ | ||||
最大烘烤温度(移除电子) | 250℃ | 300℃ | ||||
连接法兰 | DN40CF | |||||
输入电源 | DC24V ±10% 50W | |||||
重量 | 2.6 | 2.84 | 2.6 | 2.84 | 3.21 | 3.21 |
防护等级 | IP30 | |||||
串口通信 | RS232C/RS485 | |||||
分辨率 | M/DeltaM=1M(10%PH) |