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光学薄膜真空镀膜机

非标定制设备

光学薄膜真空镀膜机是采用电子束蒸发镀膜方式,可蒸发各类金属膜和氧化物,可配离子源辅助沉积,应用于眼镜、光学镜头、精密光学元件、激光等各类行业,可在玻璃,塑料,陶瓷基体上镀制各种多层薄,如:红外膜、宽带增透膜、分光膜、冷光膜、IR-CUT膜、干截止滤光片、偏振膜、电学膜等。

特点

采用E型电子枪输出功率稳定,国产优质或进口。

转动部件采用磁流体引入,长期运转密封可靠。

工件转动座运转平稳可靠,可配行星工件架。

采用PLC+触摸屏控制, 互锁保护,可全程自动控制,包括真空系统,烘烤系统,整个蒸发镀膜过程。

所有零部件均采用国内知名厂家或进口知名品牌,。

应用

镀制光学膜电学膜、金属膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜

在各种滤光片、玻璃片及塑胶(树脂)件上镀制增透膜、带通膜和截止膜等各种膜系的镀膜

主要指标

真空腔室尺寸

Φ600~Φ1300

真空系统

扩散泵(冷阱)+罗茨泵+机械泵

机械泵+罗茨泵+分子泵

机械泵+罗茨泵+低温泵

极限真空

优于1.0×10-4Pa

真空恢复时间

大气至4×10-3Pa15min

电子枪E型电子枪,功率10KW;可配置单枪或双枪,多穴坩埚和环形坩埚。
电阻蒸发可选配,1~3组蒸发源

工件夹具

Φ550mm~Φ1100mm

工件烘烤温度

室温~350℃,PID控温

膜厚监控系统

光学膜厚监控、Inficon SQC310或 IC6

离子源

可选配Φ12CM ~ Φ16CM的离子源

工艺气体控制1~3只进口MFC控制

系统

PLC控制/工控机全自动控制(可选)

典型应用


各类光学镜片镀膜

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