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E-BEAM蒸发真空镀膜机

非标定制设备

电子束蒸发真空镀膜机是采用电子枪蒸发镀膜方式,配国产或进口电子枪1台,可选配1~3组电阻蒸发源,选配离子源用于清洗及辅助镀膜能力。结构设计合理,性能稳定可靠,操控简单方便。广泛应用于科研院所、实验室制备金属、化合物(氧化物)、导电薄膜、光学薄膜等。

特点

采用E型电子枪输出功率稳定,国产优质或进口。

转动部件采用磁流体引入,长期运转密封可靠。

工件转动座运转平稳可靠,可配行星工件架。

采用PLC+触摸屏控制, 互锁保护,可全程自动控制,包括真空系统,烘烤系统,整个蒸发镀膜过程。

所有零部件均采用国内知名厂家或进口知名品牌,。

应用

科研与教学

主要指标

样片数量及基台尺寸: 工件架(根据用户需求定制)

工艺材料:金属;非金属;化合物等薄膜材料。

工艺腔体:304不锈钢,镜面抛光

真空系统:各种高,超高真空系统组合。

工件架:可旋转,转速可调

加热:PID控温加热,0~350℃

电子枪:E型,带XY偏转扫描

电子枪坩埚:6穴至8穴,10~17cc

膜厚监控功能:石英晶控膜厚在线监测

清洗功能:可选配离子源清洗

检测与控制光学特性功能:可选配光控仪

操作模式:全自动+半自动控制

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