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Edwards EPX高真空泵

EPX180L

EPX180LE

EPX180N

EPX180NE

EPX500L

EPX500LE

EPX500N

EPX500NE

Edwards新的紧凑型 EPX180 、EPX500高真空干泵的特性是:工作性能更佳,运行成本更低。EPX180 使用了独特的专利保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。

模块化 EPX180 、EPX500基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列,可提供非常优秀的性能,与 IPX 相比,包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。

EPX 泵系统在大气压和极限真空之间的压力下工作,增压室内无润滑或密封液。这样可以确保泵送系统清洁,不会因为系统的排空而使油或液体回流到系统中。

泵的定子和封闭马达通过集成化水冷回路进行冷却。因此,EPX 泵适合在不允许使用风扇的洁净室环境下使用。冷却水供应和回水管通过水接头(由客户指定)连接到泵。冷却水的提供必须与环境条件(湿度和温度)相当,以便不会达到结露点。

泵装有一个 EMC 供应过滤器和一个变换器驱动,该驱动可提供和控制泵马达的电源。前盖上的 LED 标识 EPX 泵的状态。马达速度取决于泵入口处的压力。当泵在入口压力处于或接近大气压的情况下启动时,马达会加速到某个速度,该速度受可以由变换器驱动提供的电流限制。随着入口处的压力降低,马达速度会加快,直至该速度最终达到其预定的最大速度。如果入口处的压力增大,则马达速度会再次减慢。

EPX L 系列的泵不能进行手动操作;这些泵必须通过外部控制设备进行控制和监视,而控制设备必须通过工具接口模块 (TIM) 连接到 EPX 泵。

EPX 泵由四个振动隔离器进行支持。

泵保护传感器可在出现故障状态时自动关闭泵。

特点

紧凑的占地面积 – 作为可用的非常小工具上泵之一,EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。

低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式,从而可极大化功率效率。

独特的专利保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在所有进气口压力下连续工作。

超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。

非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大约每 5 年维修一次,很大程度地延长了泵的使用寿命。

可兼容的网络 - EPX 系列配有最终用户控制,可以连接到各种结构的网络,以进行诊断监视和控制。

应用

EPX 系列涵盖广泛的应用,从水处理到中度工作负载的制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。

技术规格

型号

EPX180

EPX500

峰值抽速

170m3/h

500m3/h

极限真空

7.5X10E-5Torr

7X10E-7Torr

预热时间

30min

入口法兰

63

160

出口法兰

NW25

噪音

<59dB

最小冷却水流速

2L/min

冷却水温度

15-35℃

电源

100V,220V,380V

极限功率

1.4Kw

电机额定功率

3Kw

TIM

C3

重量

43.5Kg

45.2Kg

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