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ELD500氦质谱检漏仪

Edwards新型ELD500全自动氦质谱检漏仪已经上市。是为在广泛的应用中快速、准确地检测泄漏而设计的,并且是完全可移动的;易于使用的控制界面。EdwardsELD500是您在泄漏检测方面的明智选择。

特点

性价比高

移动解决方案

可定制的任何应用程序

高稳定性和准确性

应用

分析仪器:电子显微镜、泄漏检测、质谱、表面分析

半导体:负载锁定、过程、计量、光刻技术、PVD、等离子体刻蚀、CVD、平板显示器、LED

研究和开发:空间模拟、低温研究、纳米技术、涂层系统

工业:工业泄漏检测、电子束焊接、灯管制造、玻璃涂料、刹车线和空调、制冷系统制造商、热处理、电源、真空炉

高能物理:束线、加速器、融合、激光疏散

技术规格

类型

WET

DRY

FLEX

可检测的氦泄漏率mbar.L/s

真空操作

≤ 5 x 10-12

≤ 3 x 10-11

≤ 5 x 10-12(配泵)

吸枪操作

≤ 7x10-9

最大可测氦泄漏率
mbar.L/s
(真空操作)

>0.1

检测范围

12个数量级

最大允许进口压力

15mbar

泵送速度50hz / 60hz

2.5/3 m3/h

1.6/1.8 m3/h

N/A

在精细模式下的氦抽运速度

3.1L/s

泄漏率信号的时间常数

<1s

启动时间

≤2min

功率

420VA

350VA

200VA

入口法兰

NW25

尺寸mm

495x456x314

重量

40Kg

35.5Kg

30Kg

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