ELD500氦质谱检漏仪
ELD500氦质谱检漏仪
Edwards新型ELD500全自动氦质谱检漏仪已经上市。是为在广泛的应用中快速、准确地检测泄漏而设计的，并且是完全可移动的；易于使用的控制界面。EdwardsELD500是您在泄漏检测方面的明智选择。
特点
性价比高
移动解决方案
可定制的任何应用程序
高稳定性和准确性
应用
分析仪器：电子显微镜、泄漏检测、质谱、表面分析
半导体：负载锁定、过程、计量、光刻技术、PVD、等离子体刻蚀、CVD、平板显示器、LED
研究和开发：空间模拟、低温研究、纳米技术、涂层系统
工业：工业泄漏检测、电子束焊接、灯管制造、玻璃涂料、刹车线和空调、制冷系统制造商、热处理、电源、真空炉
高能物理：束线、加速器、融合、激光疏散
技术规格
| 类型 | WET | DRY | FLEX |
可检测的氦泄漏率mbar.L/s | |||
| 真空操作 | ≤ 5 x 10-12 | ≤ 3 x 10-11 | ≤ 5 x 10-12（配泵） |
| 吸枪操作 | ≤ 7x10-9 | ||
| 最大可测氦泄漏率 mbar.L/s （真空操作） | ＞0.1 | ||
| 检测范围 | 12个数量级 | ||
| 最大允许进口压力 | 15mbar | ||
| 泵送速度50hz / 60hz | 2.5/3 m3/h | 1.6/1.8 m3/h | N/A |
| 在精细模式下的氦抽运速度 | 3.1L/s | ||
| 泄漏率信号的时间常数 | ＜1s | ||
| 启动时间 | ≤2min | ||
| 功率 | 420VA | 350VA | 200VA |
| 入口法兰 | NW25 | ||
| 尺寸mm | 495x456x314 | ||
| 重量 | 40Kg | 35.5Kg | 30Kg |