机械增压泵
机械增压泵
EH250
EH500
EH1200
EH2600
EH4200
Edwards EH 机械增压泵采用独特的液力驱动,可实现高效的动力传送,在经济性、性能和紧凑性方面拥有优势。这些增压泵适用于高压力差的场合,这种高压力差使增压泵可以与前级泵同时启动,从而减少总体抽气时间。
EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是非常受欢迎的泵,可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。
特点
适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3/h的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降低。
轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。
应用
半导体制程
真空蒸馏
真空包装
钢脱气
薄膜覆层
真空冶金
低密度风洞
空间模拟
真空浸渍
油干燥和脱气
制药冷冻干燥
CO2 激光
技术规格
型号 | EH250 | EH500 | EH1200 | EH2600 | EH4200 |
抽气量m³/h | |||||
50Hz | 310 | 505 | 1195 | 2590 | 4140 |
60Hz | 375 | 605 | 1435 | 3110 | 4985 |
前级泵有效泵速m³/h | |||||
E2M40 | 240 | 350 | 840 | ||
E2M80 | 274 | 400 | 840 | ||
E2M175 | 440 | 930 | 1750 | ||
E2M275 | 460 | 1020 | 1900 | 3100 | |
泵上的压差mbar | |||||
50Hz | 0-180 | 0-110 | 0-90 | 0-120 | 0-70 |
60Hz | 0-150 | 0-90 | 0-75 | 0-67 | 0-50 |
进出口法兰 | ISO63/ISO40 | ISO100/ISO63 | ISO160/ISO100 | ISO160/ISO100 | ISO250/ISO100 |
转速rpm | |||||
50Hz | 0-2900 | ||||
60Hz | 0-3500 | ||||
额定连续进口压力 | 0-1000mbar | ||||
最大出口压力 | 1000mbar | ||||
建议支持泵 | GV80, E2M40, E2M80 | GV80, E2M80 | GXS160, GXS250, E2M80, E2M175 | GXS250, GXS450, E2M175, E2M275 | GXS450, E2M275 |
电源电压,3-ph | 220-240V / 380-415V | ||||
电机功率Kw | |||||
碳氢油 | 2.2 | 3 | 11 | ||
PFPE | |||||
ATEX | |||||
防爆电机 | 3 | 4 | 15 | ||
温度℃ | |||||
工作温度 | 5至40 | ||||
环境存储温度 | -10至80 | ||||
湿度 | 90%RH | ||||
冷却方式 | 空冷 | 水冷 | |||
建议用油 | |||||
标准 | Ultragrade 20 | ||||
PFPE | Fomblin YVAC 16/6 | ||||
油量L | |||||
齿轮箱 | 1.25 | 3.5 | |||
耦合面 | 1.5 | 2.4 | 6.5 | ||
轴封油层 | 0.125 | 1.5 | |||
重量Kg | 69 | 106 | 149 | 345 | 481 |