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机械增压泵

EH250

EH500

EH1200

EH2600

EH4200

Edwards EH 机械增压泵采用独特的液力驱动,可实现高效的动力传送,在经济性、性能和紧凑性方面拥有优势。这些增压泵适用于高压力差的场合,这种高压力差使增压泵可以与前级泵同时启动,从而减少总体抽气时间。

EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是非常受欢迎的泵,可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。

机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。

特点

适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3/h的高抽速的应用场合。

它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:

安静的无振动运行。

牢靠且防腐蚀。

先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染

防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到最低。

轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。

应用

半导体制程

真空蒸馏

真空包装

钢脱气

薄膜覆层

真空冶金

低密度风洞

空间模拟

真空浸渍

油干燥和脱气

制药冷冻干燥

CO2 激光

技术规格

型号
EH250
EH500
EH1200
EH2600
EH4200
抽气量m³/h
50Hz
310
505
1195
2590
4140
60Hz
375
605
1435
3110
4985
前级泵有效泵速m³/h
E2M40
240
350
840


E2M80
274
400
840


E2M175

440
930
1750

E2M275

460
1020
1900
3100
泵上的压差mbar
50Hz
0-180
0-110
0-90
0-120
0-70
60Hz
0-150
0-90
0-75
0-67
0-50
进出口法兰
ISO63/ISO40
ISO100/ISO63
ISO160/ISO100
ISO160/ISO100
ISO250/ISO100
转速rpm
50Hz

0-2900

60Hz

0-3500

额定连续进口压力

0-1000mbar

最大出口压力

1000mbar

建议支持泵
GV80,
E2M40,
E2M80
GV80, E2M80
GXS160,
GXS250,
E2M80,
E2M175
GXS250,
GXS450,
E2M175,
E2M275
GXS450,
E2M275
电源电压,3-ph

220-240V / 380-415V

电机功率Kw
碳氢油

2.2

3

11

PFPE
ATEX
防爆电机

3

4

15

温度℃
工作温度

5至40

环境存储温度

-10至80

湿度

90%RH

冷却方式

空冷

水冷

建议用油
标准

Ultragrade 20

PFPE

Fomblin YVAC 16/6

油量L
齿轮箱


1.25

3.5

耦合面

1.5

2.4

6.5

轴封油层

0.125

1.5

重量Kg

69

106

149

345

481

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