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Barocel 7025真空计

Edwards Barocel 7000系列是目前最精确的真空压力表产品,根据客户的需要,我们提供了更精确的测量和控制系统。有了环境和加热产品,可以提供优秀的性能和可靠性。

Barocel 7000系列主要有这几款型号:7025M、7025和7045、7100。可在1000至0.1 mbar/Torr(7025M型仅支持1000至10Torr量程)的全压力范围内使用,并有多个法兰选项。这使压力测量和控制超过7个数量级,满足您系统精密测量和控制的要求。

Barocel 7025M

对于需要精确测量却预算有限的情况,7025M是最合适的量规。基于与高端Barocel 7000压力表相同的原理,它具有陶瓷传感技术和出色的零稳定性。是体积更小、更经济的解决方案。

Barocel 7025M

可重复的高性能,这是在广泛的应用范围内标准的仪表。7025具有很高的精确度,有多层内部保护; 挡板、涂层和防护装置等标准配置,具有良好的零点稳定性,以及任意方向安装。

Barocel 7045/7100

使用与7025相同的测量单元,Barocel 7045、7100仪表集成了加热器来保持仪表的固定温度。应用于有严重气体凝结可能导致问题的应用。可以加热到45℃(7045)或100℃(7100)的稳定温度时,仪表中的冷凝物不会危害到控制系统。

TIC仪表控制器(D39702000)提供全面的控制和显示多达6个兼容的Edwards真空计。下面是使用单个控制器运行的各种配置

6个Edwards Active真空计

3个BAROCEL 7025M或7025和任意3个其他Edwards Active真空计

1个BAROCEL 7045或7100,2个BAROCEL 7025或7025M,以及任意3个其他Edwards Active真空计

特点

性能优越,优良的零稳定性和准确性

集成的双设定值增强控制

紧凑型到加热型,应有尽有

低拥有成本

零维护

应用

半导体:负载锁定,PVD, CVD,蚀刻

高能物理:光束线、加速器、激光疏散、医疗系统

分析:质谱仪和电子显微镜

标准:基准真空,压力控制

工业:涂料系统、熔炉、灭菌、食品加工、氧化

技术规格

型号

7025M

7025

7045

7100

满量程

1000/100/10

1000/100/10

1

0.1

1000/100/10/1

0.1

1000/100/10/1

0.1

精度(%读数)

1

0.2

0.5

0.15

0.2

0.4

温度效应

零点(% FS/℃)

0.02

0.005

0.015

0.02

0.0025

0.005

0.0025

0.005

满量程(% 读值/℃)

0.02

0.01

0.03

0.01

0.02

分辨率(%FS)

0.05

0.003

0.003

0.003

最低读数(%FS)

0.05

容许的温度

环境温度(℃)

0至+70

+5至+50

+10至+40

+10至+50

烘烤温度-法兰处(℃)

<110

存储温度(℃)

-20至+85

-40至+65

-20至+65

爆破压力(绝对)

6bar

5bar

6bar

6bar

电源要求

+13至30VDC

+14至+30VDC或者±15V

功耗

加热时(W)

N/A

N/A

<12

<15

正常运行(W)

<0.3

<1

<8

<10

输出信号

+0至10VDC

响应时间(ms)

100

30

30

30

防护等级

IP40

IP30

IP40

IP40

尺寸KF16(mm)

28.3x28.3x99

55x55x113

82x82x142

82x82x142

设定点继电器

数量

N/A

2

触点电压VDC

N/A

30

接触材质

氧化铝陶瓷(AI2O3),不锈钢1.4404 (AISI 316L)

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