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Pfeiffer Active 系列真空计

Active 系列提供各类型的真空计,该系列真空计基于各种测量原理进行工作,并具有传统的模拟输出,该系列涵盖从超高真空到超压的相关真空范围。真空计的输出电压,与压力成正比,可以在三个控制器上显示为压力或通过模拟输入读入进行远程操作。每种测量技术都可用于独立传感器或与互补测量技术结合,以在整个真空范围内获得最佳性价比。

特点

涵盖从5 × 10E-10mbar至大气压的压力范围

得益于紧凑设计而实现的节省空间安装

复合形式的真空测量,最佳成本效益比

由于集成电子驱动单元,应用范围广泛

应用

研究设施

分析设备

研究和生产涂料设施

泄漏检测系统

半导体开发和生产

光伏

工业真空工艺系统

技术规格

真空计

型号

TPR280

PCR280

IMR265

IKR251

PBR260

PKR251

测量范围

5*10-4至1000mbar

5*10-4至1500mbar

2*10-6至1000mbar

2*10-9至0.01mbar

5*10-10至1000mbar

2*10-9至1000mbar

精度

±15%读数

±15%(大气段2.5%)

±15%

±30%读数

±15%读数

±30%读数

重复性

±2%读数

±2%读数

±2%读数

±5%读数

±5%读数

±5%读数

输出

2.2-8.5V

2.2-8.68V

1.5-9.75V

1.8-8.5V

0.774-10V

1.8-8.6V

灯丝

钨丝/(TPR281,镍丝)

钨丝

氧化钇涂铱丝

FPM

钨丝、铱丝

FPM

最大烘烤温度

80℃(250℃可选)

150℃

150℃

150℃

150℃

150℃

工作温度

5-60℃

10-50℃

0-50℃

5-55℃

0-50℃

5-55℃

输入电压

14-30VDC

15-30VDC

20-30VDC

15-30VDC

20-28VDC

15-30VDC

控制器

型号

TPG361

TPG362

TPG256A

通道

1

2

6

支持真空计

ActiveLine系列

ActiveLine系列

ActiveLine系列

测量范围

5*10-11至55000mbar

5*10-11至55000mbar

5*10-11至55000mbar

通讯接口

RS485&USB

RS485&USB

RS232C&RS422,RS485

工作温度

5-50℃

5-50℃

5-40℃

电源要求

90-250V

90-250V

90-250V

订购资料

型号

TPR280

TPR281

PCR280

IMR265

PBR260

IKR251

PKR251

KF16

PTR26950A

PTR21950

PTR26850

PTR26504




KF25




PTR26500

PTR27000

PTR25500

PTR26000

KF40




PTR26501

PTR27001

PTR25501

PTR26001

CF16

PTR26951

PTR21951

PTR26851

PTR26502

PTR27002

PTR25502

PTR26002

CF35




PTR26503




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